高纯多晶硅洁净生产工艺.ppt

高纯多晶硅洁净生产工艺 研发中心 王显兰 洁净在多晶硅生产中的必要性 洁净室的定义 3. 洁净等级及标准 4. 洁净室的维护及管理 5. 洁净室行为规范 6. 多晶硅生产过程中需注意的洁净问题 1.洁净在多晶硅生产中的必要性 随着太阳能光伏和半导体产业的发展，对多晶硅纯度的要求越来越高。多晶硅的质量好坏，直接关系到晶体管的合格率，电学性能以及太阳能电池转换效率的高低。 提高多晶硅产品质量的措施： 1.在生产过程中，搞好工艺卫生。树立“超纯”观念，养成严格的工艺卫生操作习惯（操作环境最好有洁净室） 2.提高原料纯度 3.强化精馏效果 4.氢还原过程的改进 5.加强分析手段提高分析灵敏度 洁净在工艺生产中的必要性 可见杂质对产品多晶硅中微量元素含量的影响（多晶硅中C小于等于2.5E16at/cm3 即0.21ppm，TMI小于等于0.05ppm) 例 1.一滴油按实际理论计算可以污染122.5kg多晶硅（一滴油中含碳量为：0.01035 g） 2.长1cm，宽0.5mm，厚0.05mm的铁丝按实际理论计算可污染240kg的多晶硅 3.一块重0.29g的石墨按实际理论计算可污染1380kg多晶硅 4.一根头发大概可以沾污100kg左右的多晶硅 以上数据可以表明，可见杂质对多晶硅质量的影响较大。 2.洁净室的定义 洁净室（clean room)又称无尘室或净化间。是指不论室外空气条件如何变化，仍能使室内空气中微尘粒子，有害气体，细菌等污染物排除，并且室内温度，湿度，洁净度，空气压力，气流分布，气流速度，噪声，震动，照明，静电等特性能控制在某一特定需求范围内。 因此，洁净室必须具备以下功能： 1.能除去空气中漂浮的微尘粒子 2.能防止微小粒子的产生 3.温度，湿度能控制在一定范围内 4.室内空气有一定压力，气流速度及气流分布 5.能排除有害气体(废气） 6.有除静电防护，防电磁干扰 7.有安全，节能措施 洁净室工作原理：通过空气处理装置，将空气流送入管道，并通过空气过滤装置，将洁净的空气 送入室内，同时通过工艺排风将室内空气送回空气处理装置或室外，循环往复就能达到净化的目 的 3.洁净室等级及标准 1963年美国制定出国际上第一套洁净室标准 （美国联邦标准-FS 209标准）， 此后不断修改标准，同时世界上几个主要的国家根据自己的需要，分别制 定了自己的洁净标准。 现在国际上采用的ISO洁净室等级的划分标准是由全球各国际标准化团体联合 会编制的(ISO-14644 Air Cleanliness).有8个部分组成（洁净室等级的划分，洁 净室的测试方法，洁净室的设计与施工，洁净室的运行，定义及单位，微环境 与隔离等）。我们重点了解洁净室等级的划分 (ISO 14664-1 Air Cleanliness)洁净室等级划分 空气洁净 等级 （N) 国际（ISO-14644-1 Ail Cleanliness)洁净室标准 美国（FS-209D)标准 中国GB 50073-2001标准 大于或等于表中粒径的最大浓度值|（个|立方米） Ft为英尺 1ft=12英寸 1ft=304.8mm 1in=25.4mm 个|立方英尺 个|立方米 0.1um 0.2um 0.3um 0.5um 1.0um 5.0um 以0.5um计 ISO Class1 十 2 ISO Class2 一百 24 10 4 ISO Class3 一千 237 102 35 8 1 ISO Class4 一万 2370 1020 352 83 10 ISO Class5 十万 23700 10200 3520 832 29 100 ISO Class6 一百万 237000 102000 35200 8320 293 1000 ISO Class7 352000 83200 2930 10000 ISO Class8 3520000 832000 29300 100000 ISO Class9 8320000 293000 洁净度 谈到净化厂房的洁净度时，可以举 “在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在 空气中的灰尘微粒”，目的是让大