真空镀膜.docVIP

真空镀膜 引言 一 实验目的 初步了解真空镀膜的原理、操作以及薄膜厚度的测量。 二 实验原理 真空镀膜是将固体材料置于真空室内，在真空条件下，将固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分子能自由地弥布到容器的器壁上。当把一些加工好的基板材料放在其中时，蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。 真空镀膜有两种方法,一是蒸发,一是溅射。本次实验采用蒸发方法。在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面 ?? 蒸发源 蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等 蒸发源选取原则 1 有良好的热稳定性，化学性质不活泼，达到蒸发温度时加热器本身的蒸汽压要足够低。 2 蒸发源的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度。加热器要有足够大的热容量。 3 蒸发物质和蒸发源材料的互熔性必须很低，不易形成合金。 4 要求线圈状蒸发源所用材料能与蒸发材料有良好的浸润，有较大的表面张力。 5 对于不易制成丝状、或蒸发材料与丝状蒸发源的表面张力较小时，可采用舟状蒸发源。 薄膜厚度分布 设蒸发源为点蒸发源，单位时间内通过任何方向一立体角的质量为： 蒸发物质到达任一方向面积元质量为： 设蒸发物的密度为，单位时间淀积在上的膜厚为，则 比较以上两式可得： 对于平行平面，，则上式为： 由： 可得在点源的正上方区域(δ=0)时： ???????? 薄膜的厚度测量 –????? 干涉显微镜法 干涉条纹间距Δ0 ，条纹移动Δ，台阶高为： 测出Δ0 和Δ，即可测得膜厚t 其中λ为单色光波长，如用白光，λ取 ? 安装和调试 开箱后按装箱单检查主机、附件设备及完整性。 本机应安放再空气清洁而干燥的室内，并备有三相380V，6.5KW的电源和水源。 按电器原理图检查电气部分是否完整，开关是否都断开，调压器是否在零位置。接上安全地线（在工作台右后方之的底框上），将输入线接至端子板上的A、B、C和0上。 卸去吊挂机械泵扁钢的四个长螺丝，使与机架脱开，以免泵的振动传至机架，逗车检查机械泵的旋转方向，切不可倒转。 开“磁力充气阀”，对钟罩充气完毕，约三分钟，开“钟罩升”及“钟罩降”试其是否灵活可靠。装上大滚轮，将大、小滚轮的间隙调整在0.35～0.40mm开“工件旋转”，试其是否平稳无卡滞现象。 将钟罩内零件擦洗干净，关钟罩。 松开三个规管接头的螺母，取下堵头，分别装好两支热偶管和一支电离管（按真空系统图所示位置），将复合真空计放在工作台右面，接上电源线及规管引线。 接上进出水管，关好各门。 准备工作基本结束，再按下列步骤进行调试： 开总电源，开低真空测量，将高阀处于“关”，低阀手柄向内推至“抽系统”（即图四位置I）。 极限压力的试验：开机械泵，将低阀拉出对真空室抽低真空，当镀膜室真空度达到后，再将低阀推进，开高阀，24小时内抽高真空至为合格。 抽气时间的试验：为了不受外界环境的影响，测试时可在充气阀进气口处接一干燥剂（五氧化二磷、氧化钙或其他干燥剂均可）向钟罩冲入干燥清洁的空气，试验步骤如下： 关真空计及高阀，低阀拉出至“抽钟罩”位置，停机械泵。 开充气阀，将钟罩内充入干燥空气，充气完毕关好充气阀。 开机械泵对钟罩抽低真空，开低真空测量，当钟罩内达到后，将低阀向内推至“抽系统”，开高阀然后开高真空测量。 从机械泵开始对钟罩抽低空算起，至达到全部抽气时间不超过24min为合格。调试完毕，关真空计，关扩散泵加热及高阀，关机械泵，待扩散泵冷却后停止给水，全部安装调试工作结束。 ? 三 实验装置 设备简介 真空系统(DM—450A镀膜机) 四 实验内容 使用操作程序如下: 开总电源 开磁力充气阀，对钟罩充气完毕关充气阀，升钟罩。 安装蒸发源，蒸发材料及工件。 扣下钟罩，开机械泵，低阀处在“抽钟罩”位置，接通低真空测量。 机械泵对镀膜室抽低真空至。 接通轰击电路，开工件旋转，调节针阀，使真空度保持在。调节右调压器1ＢＺ，进行离子轰击，约20分钟后，将调压器调回“0”，关针形阀。 接通冷却水，将低阀推至位置I，开扩散泵加热40分钟后开高阀，待真空度超过时接通高真空测量，低真空换至扩散泵前级测量。 接通烘烤，调节左调压器2BZ至所需功率。 开工件旋转。 选好蒸发电极，将电流分配塞插入，接通蒸发，调节调压器逐渐加大电流，开始予熔用挡板挡住蒸发源，避免初熔时的杂志蒸到工件上。 加大电流开始蒸发，移去挡板进行镀膜。 镀膜完毕转动挡板挡住蒸发源，迅速将调压器回“0”。 选择电流分配器，使另一半蒸发电极工作，再按10～12进行第二种材料的蒸镀。蒸镀全部结束，关蒸发。 带工件冷却后，关高真空测量，关高阀，低阀拉出到位置II，停机械泵，对钟罩充气，开始罩取零件，清洗镀膜室。 需进行下一次镀膜时操作程序如下： 同