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Sheet3 Sheet2 Sheet1 ●确认下板导轨未和XY平台接触 ●调整下板传送带上下阀门和气缸调整下板传送带下降检测传感器 ●确认下板传送带下降检测传感器和光输入模块间的联结 ●确认下板传送带上下阀和光输出模块之间的联接 SC0300 搬送臂下降动作超时 SC系统故障 ●搬出臂摇摆动作开始后0.8秒进入基板孔的检测传感器断开 ●搬送销位置调整不良 ●搬送臂摇摆机构调整不良 ●定位销进入基板孔的检测传感器调整不良或断线 ●确认搬送销和基板上定位孔的位置重合 ●调整传送臂的摇摆机构 ●调整定位销进入基板孔的检测传感器 ●确认定位销进入基板孔的检测传感器和光输入模块之间的联结 SC0302 搬送臂移动故障 SC系统故障 ●下板传送带开始动作后0.8秒下板传送带上升检测传感器断开 ●下板传送带上下阀门或气缸调节器整不良 ●下板传送带上升检测传感器调整不良或断线 ●ZR轴的移动超过正向侧的极限 ●极限值设置不正常 ●极限传感器不良 ●调整ZR轴正向极限值传感器 ●确认ZR轴正向极限传感器和光输入模块之间的联结 NC0401 ZR轴负向极限 ●ZR轴在负向的移动超过极限值 ●极限设定值异常 ●极限传感器不良 ●调整ZR轴负向极限值传感器 ●确认ZR轴负向极限传感器和光输入模块之间的联结 NC0402 ZR轴偏差计数器溢满 ●ZR轴上加的负荷过大（加减速不合理） ●ZR轴的增益和STB调整不得当 ●动作中ZR轴处于伺服系统自由状态 ●由于ZR轴滚珠丝杠生锈等原因ZR轴不能移到指定位置 ●调整ZR轴的驱动器 ●确认伺服系统自由状态开关断开（电源控制板） NC0403 ZR轴驱动器报警 数控系统故障（ZR） ●ZR轴电机的电源断开 ●动作中驱动器准备讯号断开 ●原点动作中的内部联锁信号断开 ●确认ZR轴驱动器的电源 ●确认ZR轴安全极限断开 ●将电源断开一次 NC0404 ZR轴超时 数控系统故障 × ●调整伺服系统驱动器 ●决定ZR轴位置的时间超过15秒 ●ZR轴速度设定值异常 ●H轴或其它轴的调整不合适 ●控制器故障 NC0405 ZR轴动作时内部联锁 ●ZR轴动作中的联锁讯号断开 ●H轴或其它轴调整不良 ●ZR轴驱动装置调整不良 ●循环时间设定不正确 ●Z超动讯号断线 ●ZR轴驱动器调整不良 NC0406 ZR轴原点检测故障 ●确认ZR轴驱动器的电源 ●确认ZR轴驱动器和控制器间连接●将电源断开一次 ●调整伺服系统驱动器 ●确认循环时间设定正确 NC0407 ●ZR轴原点传感器不良 ●由于ZR轴原点传感器连接不好以致不能检测出ZR轴原点 ●调整ZR轴原点传感器 ●确认ZR轴原点传感器物光输入模块之间的联结 ●调整ZR轴的Z相 ●调整ZR轴原点通过传感器和光输入模块之间的联结 NC0408 ZR轴光回路传输故障 ●数控1部光回路连接不良 ●数控1部光回路的光量不稳定 ●数控1部的光模块损坏 NC0409 ZR轴光回路断线故障 数控系统故障（ZR） ●数控1部的光回线断开●数控1部光模块损坏 ●确认数控1部光回路配线的联结 ●确认数控1部光回路配线的光量子力学 ●确认数控1部光模块是否损坏 ●将电源断开一次 NC04010 ZR轴A相断线故障 ●ZR轴编码器A相断线讯号断开 ●确认编码器配线（电机—驱动器—数控卡）联结 ●确认ZR轴编码器是否损坏 ●确认数控1卡上的A相断线检测装置是否损坏 NC04011 ZR轴B相断线故障 ●ZR轴编码器B相断线讯号断开 ●确认编码器配线（电机—驱动器—数控卡）联结 ●确认ZR轴编码器是否损坏