集成MZI光波导生化传感平台研究.pdfVIP

集成MZI光波导生化传感平台研究+ 吴远大安俊明 王明 尹小杰 张家顺 李建光王红杰 胡雄伟 (中国科学院半导体研究所光电研发中心北京912信箱，100083) 摘要：本文提出了一种基于马赫一泽德干涉仪的集成光波导传感平台研究方案。对该传感平 台的设计、制备和敏感机制进行了介绍，对其折射率分辨率、敏感特性等进行了分析、模拟。 同时，对面临的关键问题进行了分析和讨论。 关键词：马赫一泽德干涉(MZI)；光波导传感；渐逝场；折射率；相位差 Bio—chemical basedon Sensingplatform Integrated Mach—ZehnderI nterferometer Yin ie Jiashun WuYuandaAn Yue XiaojZhang JunmingWang Li ie Hu Hongj Xiongwei JianguangWang (Researchand Centerfor of Optoelectronics，Institute Development of Sciences，EO．Box100083，RR．China) Academy 912，Beijing kindofbio—chemical basedon Mach—Zehnder Abstract：A sensingplatform integrated was describedthe and Interferometer design，fabficafionsensing reported．Thispaper and resolutionand alsoweresimulated mechanism．andtherefractiveindex sensingproperties werediscussed． comingkeyproblems analyzed．Finally，the sensors；Evanescentfield； Keywords：Mach．ZehnderInterferometer(MZI)；Opticalwaveguide refractive difference index；phase 1 引言 化学和生物传感器一直是环境监测、在线监控、生态农业、防恐反恐等领域的热点研究 项目m21。在现代社会中，随着人们对健康的密，切关注和生物技术的快速发展，研究开发出在 宽广的动态范围内具有高分辨率的医学、生化传感器已成为当务之急。这些传感器必须具有 高灵敏度、高选择性、高响应恢复速度、体积小、价格便宜和适合于远端监控等特点。由于 集成光波导器件本身固有的抗干扰能力强、使用范围广、尺寸小、便于集成等优势而在光通 讯领域获得了巨大成功。借鉴这一特性，开发集成光波导应用于生物化学传感器领域的研究