锁相技术在超声波发生器中的应用.pdfVIP

维普资讯 第 34卷 第 5期 半 导 体 情 报 vm 。一 199 年 10月 SEMICONDUCTOR INFORM ATION OcI 0 上一个新 台阶。 Ul l 主要技术指标 ： (B) (1)换能器的固有频率 为 59kHz。由于劈刀 材料不 同或劈力长短不同，会引起劈刀尖部超 Uo 声功率大小不同，故所选用频率在 56～59kH 为宜 。 (2)超声波发生器输出功率最小为0．35W ，最 大为 7w ，并分两档 ，功率任意选用 。 (3)时间调节最短为 0．05s，最长为 ls，并分两 档任意调节选用 。 ￡，l U (4)本机可键合的硅铝丝直径为 20～120m， 【bJ 在加温的情况下，可键合 20~50gm 的金丝 图2 鉴相器特性 曲线 2 结构特点 横座标 ～ 表示U 与u 的相位差。纵 采用先进的锁相集成 电路 ，具有三个基本 座标是鉴相器的直流输出电压 。 单元：即鉴相器、低频滤波器和压控振荡器。 压控振荡器输出信号V 的频率 ^与电压 LM565锬相器的方块图如图1。 的大小有关，并受V 的控制。如果U 与U 的频率不相等，即鉴相器输入的两个 电信号存 在着相位差，那么鉴相器输出电压 就经过低 通滤波器得到 u。电压去调整压控振荡器额 率，使 向^靠拢。在反馈过程中，不仅 在改变 ，u 和 uz的相位差 ( 一 )以及 U 图l 铺相器的方块翻 输出也在改变，直到 与 相等 鉴相器的作用是将输入信号U．与压控振 ( 一 z)为设定的相位差 ，U。就稳定在某 荡器信号U 在鉴相器里进行比较 ，其输出电 一 个数值上，这样 频率就被锁定了。也就是 压由U-和Uz的相位决定。图2是两种常见的 u 的频率 (或相位)有所变化 ，那么反馈系统 鉴相器的特性曲线。 的控制作用就使u 的频率 (或相位)跟踪变 J 53 维普资讯 化，保持 与 相等，达到超声功率输出的稳 定性 圈3 966 超声波发生器方块 圈 3 锁相环路超声波发生器的优点： 半导体所一台。 锁相超声波发生器与