高性能压电叠堆及直线超声电机的研究.pdfVIP

高性能压电叠堆及直线超声电机的研究 李志荣1 于剑2汪红兵1 许海1孙春华1 陶亦亦1 1.苏州市职业大学机电工程系，苏州，2151042.同济大学功能材料研究所，上海200092 摘要：为了实现超声电机的低电压高效驱动、高温运行和微小型化，综合考虑了压电陶瓷配方及工艺、压 电叠堆和超声电机三个方面，研制了V形直线超声电机。优选硬压电陶瓷配方，采用无压低温共烧工艺，研制出 适合于超声电机的高性能压电叠堆。所研制压电叠堆的断面SEM形貌图表明，该压电陶瓷体系具有良好的与Ag 电极多层共烧特性。电容频谱测试结果表明，每个压电叠堆表现出较好的一致性。所研制的0.5％ Co掺杂 Pb0.98Bi0.02Zr0.51Ti0.48Zn0.01O3压电陶瓷，950℃烧结5小时，压电性能参数如下：相对介电常数为1190，压 电常数为270pC/N，机电耦合系数分别为0.54(Kp)、0.46(Kt)，居里温度为346℃，介电损耗角正切为0.6％。 在结构动力学分析的基础上，设计和试制了基于该种压电叠堆的V形直线超声电机原型样机。在激励电压为15V、 频率为33000Hz、电流为1.7A的实验条件下，样机的无负载最大速度为30mm/s，最大推力为2.2N。 关键词：直线超声电机；压电叠堆；无压低温烧结；压电陶瓷 某公司采用ij 电陶瓷作动暑 电极多层共菇 l妨解的一骑1 行研制的层叠式压电叠 ．的定子如图5所示，由。 ；机如图6所示，由定子 田I、J胆：正由蜘曲审罩匕： StudyonHighPerformanceMultilayeredPiezoceramic ActuatorandLinearUltrasonicMotorBasedontheActuator ZhirongLi1JianYu2HongbingWang1HaiXu1ChunhuaSun1YiyiTao1 1.SuzhouVocationalUniversity,Suzhou215104,China 2.TongjiUniversity,Shanghai,200092,China Abstract:Basedonanoverallconsiderationofpiezoceramicformulaanditssinteringprocess,multilayered piezoceramicactuatorandultrasonicmotor,aV-shapedlinearultrasonicmotorhasbeendevelopedinordertoreduce drivingvoltageofthemotor,increaseoperationtemperafureofthemotorandminiaturizevolumeofthemotor. Accordingtorequirementoftheultrasonicmotor,formulaofhardpiezoelectricceramicshasbeenoptimized,and high-performancemultilayeredpiezoceramicactuatorhasbeendevelopedbynon-pressurelowtemperatureco-sintering techniqueprocess.SEMsectionanalysesoftheactuatorshowthatthepiezoelectricceramicshasgoodcharacteristicsof theco-sinteringwithsilverelectrode.Theexperimentalresultsalsoindicatethatcapacitivespectrumofalltheactuators displayagoodconsistency.Inthesinteringconditionof950degreesCelsiusand5hours,performanceparametersofthe developedpiezoelectricceramic,whichconsistsofPb0.98Bi0.02Zr0.51Ti0.48Zn0.01O3andisdopedwith0.5％Co,arerelative dielectricconstant1190,piezoelectricconstant270pC/N,electr