衬底预应变对Sm-Fe-B超磁致伸缩薄膜磁性能的影响.pdfVIP

衬底预应变对 Sm—FeB 超磁致伸缩薄膜磁性能的影响 黎思文，周 白杨，翁章钊 (福州大学 材料科学与工程学院，福建福州 350108) 摘 要：采用离子束溅射沉积法在不同预应变衬底上制备 Sm．Fe．B超磁致伸缩薄膜 (GMF)。使用LK．G150 激光微位移传感器与交变梯度磁强计 (AGM)分别测试薄膜悬臂梁 自由端偏转量与磁滞回线，以研究衬底预应 变对薄膜磁致伸缩性能及软磁性能的影响。研究结果表明，在预应变衬底上所制备薄膜样品的低场磁敏性明显 优于无预应变衬底上镀膜所获样品，且矫顽力较无衬底预应变样品减小；张预应变衬底上镀膜所获样品长、短 轴方向磁滞回线之间差异变大，磁各向异性增强，易磁化轴位于长轴方向；而压预应变衬底上镀膜所荻样品长 轴与短轴方向磁滞回线之间差异减小，磁各向异性减小。 关键词：Sm—Fe．B薄膜；离子束溅射；衬底预应变；软磁特性；磁致伸缩 中图分类号：0482．526：0484．43 文献标识码：A 文章编号：1001。3830(2014)03．0010．03 EffectsofsubstrateprestrainonmagneticpropertyofSm--Fe-B· giant magnet0strictiVethinfilms LISi—wen，ZHOU Bai—yang，W ENG Zhang—zhao CollegeofMaterialsScienceandEngineering,FuzhouUniversity,Fuzhou35010China Abstract：Sm-Fe—BGMFsarepreparedbyionbeam sputteringdepositiononsubstratewithdifferentprestrain． Deflection ofcantileverand hysteresisloop offilmsaie tested by LK-150 lasermicro—displacementsensorand alternatinggradientmagnetometer(AGM)，respectively,andinfluenceofsubstrateperstrainonmagnetostrictionand softmagneticoffilmsisstudyed．Theresultsofresearchshow thatmagnetos仃ictivesensitivityatlow fieldofsample preparedonsubstratewithprestrainissuperiortothatofsamplepreparedonsubstratewithnostrain，andcoerciveforce ofsamplepreparedonsubstratewithprestraindecrease．Thedifferencebetweenlongandshortaxisofsampleprepraed on substratewith tension prestrain increases，showing themagnetic anisotropy increases，nad long axisiseasy magnetizationaxis．Thedifferencebewt eenlongandshortaxisofsamplepreparedonsubstratewithcompressprestrain decreases，showingthemagneticanisotropydecreases． Key words：Sm--Fe--B thin film； ionbeam sputteringdeposition； substratepresrtain； softmagnetic property； magnetostriction 1引言 伸缩效应、高的响应速度和机 电耦合系数、低磁滞