传感器应用技术 教学课件 作者 王倢婷第三章 3 3.pptVIP

第三章 磁电传感器 第三节 电涡流传感器 一、电涡流传感器的结构 电涡流传感器的基本结构包括探头和变换器两个部分。如图所示为国产CZF-1型电涡流传感器探头的结构示意图。 CZF-1型电涡流传感器 1-线圈；2-框架；3-框架衬套；4-支架；5-电缆；6-插头 二、电涡流传感器的工作原理 根据电涡流在金属导体内渗透的深度分为高频反射式和低频透射式两类。目前高频反射式电涡流传感器应用的较为广泛。 1.高频反射式电涡流传感器 高频反射式电涡流传感器是基于电涡流效应进行工作的，工作原理如图所示。 二、电涡流传感器的工作原理 2.低频透射式电涡流传感器 这种传感器采用低频激励，因而有较大的贯穿深度，适合于测量金属材料的厚度。如图所示为低频透射式电涡流传感器的原理和输出特性。 二、电涡流传感器的工作原理 3.电涡流传感器的测量电路 （1）电桥法 电桥法是将传感器线圈的阻抗变化转换为电压或电流的变化。 二、电涡流传感器的工作原理 （2）谐振法 谐振法是将传感器线圈的等效电感的变化转换为电压或电流的变化。传感器线圈与电容并联组成LC并联谐振回路。利用测量回路阻抗或谐振频率的方法间接测出传感器的被测值。 谐振法主要有调幅式电路和调频式电路两种基本形式，调幅式由于采用了石英晶体振荡器，因此稳定性较高，而调频式结构简单，便于遥测和数字显示。 二、电涡流传感器的工作原理 三、电涡流传感器的应用 1.测量位移 电涡流传感器可用于测量各种形状的金属零件的静态、动态与位移量。采用此种传感器既可以做成测量范围为0～15μm，分辨率为0.05%的位移计，也可以做成测量范围0～500mm，分辨率为0.1%的位移计。电涡流位移计如图所示。 三、电涡流传感器的应用 2.电涡流式转速表 如图所示，在轴1上开一键槽，靠近轴表面安装电涡流传感器2。在轴转动时便能检出传感器与轴表面的间隙变化，从而得到与转速成正比的脉冲信号，经放大和整形后，即可由频率计计数指示，频率数即转速。 三、电涡流传感器的应用 3.厚度测量 电涡流传感器可以无接触地实现金属板或非金属板镀层厚度的测量，测量原理如图所示。