传感器及应用技术（ 第二版） 教学课件 作者 沈聿农 主编 王永红 副主编 董尔令 主审 ９霍尔式传感器.pptVIP

尚辅网 尚辅网 第九章 霍尔传感器 1、霍尔元件的基本工作原理 2、霍尔元件的基本结构和主要技术指标 3、霍尔元件的测量电路 4、霍尔式传感器应用 第一节 霍尔传感器工作原理 半导体薄片置于磁感应强度为B 的磁场中，磁场方向垂直于薄片，当有电流I 流过薄片时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势UH，这种现象称为霍尔效应。产生的电动势称霍尔电势。半导体薄片称霍尔元件 磁场不垂直于霍尔元件时的霍尔电动势 若磁感应强度B不垂直于霍尔元件，而是与其法线成某一角度? 时，实际上作用于霍尔元件上的有效磁感应强度是其法线方向（与薄片垂直的方向）的分量，即Bcos?，这时的霍尔电势为 一、霍尔元件的结构 （a）中，从矩形薄片半导体基片上的两个相互垂直方向侧面上，引出一对电极，其中1-2电极用于加控制电流，称控制电极。另一对3-4电极用于引出霍尔电势，称霍尔电势输出极。在基片外面用金属或陶瓷、环氧树脂等封装作为外壳。 （b）是霍尔元件的外形。 （c）是霍尔元件的符号 。 二、霍尔元件的主要特性参数 1、 输入电阻和输出电阻 输入电阻：控制电极间的电阻 输出电阻：霍尔电极之间的电阻 2、 额定控制电流和最大允许控制电流 额定控制电流：当霍尔元件有控制电流使其本身在 空气中产生10℃温升时，对应的控制电流值 最大允许控制电流：以元件允许的最大温升限制所对 应的控制电流值 3、 不等位电势UM和不等位电阻RM 不等位电势：当霍尔元件的控制电流为额定值时，若元件所处位置的磁感应强度B为零，测得的空载霍尔电势UM 。 不等位电势UM与额定控制电流Ic之比，称为不等位电阻RM 。 霍尔元件的主要特性参数 4 寄生直流电势 霍尔元件零位误差的一部分 当没有外加磁场，霍尔元件用交流控制电流时，霍尔电极的输出有一个直流电势 控制电极和霍尔电极与基片的连接是非完全欧姆接触时，会产生整流效应。 两个霍尔电极焊点的不一致，引起两电极温度不同产生温差电势 5 霍尔电势温度系数 在一定磁感应强度和控制电流下，温度每变化1度时，霍尔电势变化的百分率。 一、基本电路 控制电流I由电源E提供，R是调节电阻，用以根据要求改变I的大小。霍尔电势输出端的负载电阻RL，可以是放大器的输入电阻或表头内阻等。所施加的外磁场B一般与霍尔元件的平面垂直。 在实际测量中，可以把I或者B单独作为输入信号，也可以把二者的乘积作为输入信号，通过霍尔电势输出得到测量结果。 二、温度误差的补偿 温度误差产生的原因： 霍尔元件的基片是半导体材料，因而对温度的变化很敏感。其载流子浓度和载流子迁移率、电阻率和霍尔系数都是温度的函数。 当温度变化时，霍尔元件的一些特性参数，如霍尔电势、输入电阻和输出电阻等都要发生变化，从而使霍尔式传感器产生温度误差。 减小霍尔元件的温度误差: 选用温度系数小的元件 采用恒温措施 采用恒流源供电等温度补偿方法 温度补偿方法: 可以把霍尔元件视为一个四臂电阻电桥，不等位电势就相当于电桥的初始不平衡输出电压。 第四节 霍尔式传感器的应用 优点: 结构简单，体积小，重量轻，频带宽，动态特性好和寿命长 应用： 电磁测量：测量恒定的或交变的磁感应强度、有功功率、无功功率、相位、电能等参数； 自动检测系统：多用于位移、压力的测量。 一、霍尔传感器的分类 线性型霍尔传感器： 由霍尔元件、线性放大器和射极跟随器组成，它输出模拟量。 主要用于一些物理量的测量。如电流、位移、压力、功率等。也可作为乘法运算电路。 开关型霍尔传感器： 由稳压器、霍尔元件、差分放大器，斯密特触发器和输出级组成，它输出数字量。 主要用于测转数、转速、风速、流速、接近开关、关门告知器、报警器、自动控制电路等。 1、线性型霍尔传感器的特性 2、开关型霍尔传感器的特性 当外加的磁感应强度超过动作点Bop时，传感器输出低电平； 当磁感应强度降到动作点Bop以下时，传感器输出电平不变； 一直要降到释放点BRP时，传感器才由低电平跃变为高电平； Bop与BRP之间的滞后使开关动作更为可靠。 1、霍尔式压力传感器 UH=KHIB=KHIKBKPP=KP 2、加速度传感器 3、霍尔式单相交流功率计 4、磁场的测量霍尔特斯拉计（高斯计） 在控制电流恒定条件下，霍尔电势大小与磁感应强度成正比，由于霍尔元件的结构特点，它特别适用于微小气隙中的磁感应强度、高梯度磁场参数的测量。 5、电流传感器(1) 由于通电螺线管内部存在磁场，其大小与导线中的电流成正比，故