传感器及应用技术（ 第二版） 教学课件 作者 沈聿农 主编 王永红 副主编 董尔令 主审 ３电容式传感器.pptVIP

尚辅网 尚辅网 第三章 电容式传感器 电容式传感器是将被测参数变换成电容量的一种传感器，它的转换元件实际上就是一个具有可变参数的电容器。 第一节 工作原理及特性 电容式传感器的基本原理 电容量C的大小与S、d和ε有关，若保持这三个参数中的两个不变而改变另一个，则C就会发生变化。 电容式传感器的三种类型 一.变面积型电容传感器 二、变极距型 三、变介电常数型 第二节 电容式传感器的测量电路 低频等效电路 传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略 等效电容Ce=C0+Cp， 等效电阻Re≈Rg 高频等效电路 电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略 ，其中Ce=C0+Cp，而re≈r 二、测量电路 (1) 交流电桥电路 (2) 运算放大器电路 (3)脉宽调制电路 (4)调频电路 1、交流电桥电路 2、 运算放大器式电路 最大特点：能克服变极距型电容传感器的非线性 3、 脉宽调制电路 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化 通过低通滤波器就能得到对应被测量变化的直流信号 4、 调频电路 第三节实际中存在的问题及其解决方法 一、温度对结构尺寸的影响 二、电容电场的边缘效应 三、寄生电容的影响 四、差动技术的运用 主要解决的方法 （a）屏蔽和接地 （b）增加初始电容值，降低容抗。 （c）导线间分布电容有静电感应，因此导线和导线要离得远，线要尽可能短，最好成直角排列，若采用平行排列时可采用同轴屏蔽线。 （d）尽可能一点接地，避免多点接地 （e）选材、结构、加工工艺 (f ) 传感器密封，用以防尘、防潮 (g) 采用差动结构、测量电路来减小温度等误差 电容传感器的特点 优点: 1. 温度稳定性好 （电容值与电极材料无关本身发热极小 ） 2. 结构简单、适应性强 3. 动态响应好 4. 可以实现非接触测量、具有平均效应 电容传感器的动态响应好 极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小 可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做得很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001mm甚至更小的位移 可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻 其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。 介质损耗小，可以用较高频率供电 系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 缺 点： 1、输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108?。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响 2、寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度 第四节电容式传感器的应用 (1) 电容式差压传感器 (2) 电容式加速度传感器 (3) 电容式振动位移传感器 课间休息 * * 尚辅网 1、 工作原理及特性 2、电容式传感器测量电路 3、实际中存在的问题及其解决方法 4、电容式传感器的应用 尚辅网 d S ε 尚辅网 变面积型(S)型: 变极距(d）型: 变介电常数(ε)型: 尚辅网 当动极板相对于定极板沿着长度 方向平移时，其电容变化量化为 电容量C与直线位移x呈线性关系，其测量的灵敏度为 ： 尚辅网 电容式角位移传感器 当θ=0时 当θ≠0时 传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系 尚辅网 初始电容 当被测量的变化引起间距减小了Δd时，电容量就变为 1 当 才能近似为线形关系 当传感器被近似看作线性时，其灵敏度为： 尚辅网 差动结构 差动结构的变间隙型电容传感器采用两块定极板，在二者之间放一块动极板. 电容总的变化量为： 电容的相对变化量为： 差动结构的变间隙型电容传感器既提高了灵敏度， 又减小了非线性误差 此时传感器的灵敏度为 尚辅网 初始电容 电容式液位传感器 电容与液位的关系为： 液面计的输出电容C与液面高度h成线性关系 尚辅网 当L=0时，传感器的初始电容 当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 电容变化量与电介质移动量L呈线性关系 电容式位移检测仪 尚辅网 L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感； r由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成； C0为传感器本身的电容 Cp为引线电缆、所接测量电路及极