基于激光加热阴极的高精密焊接电子枪研究.pdfVIP

第 50卷第 10期 机 械 工 程 学 报 VO1．5O NO．1O 20l4年 5 月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Mav 2014 DoI：1O．3901／JM E．2014．1O．093 基于激光加热阴极的高精密焊接 电子枪研究 郭光耀 韩瑞清 李晋炜 (北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室 北京 100024) 摘要：高精密焊接对电子枪的束流品质提出极高的要求，而传统电子枪由于工作原理的问题，束流品质的提升十分有限。探 索性地进行激光加热阴极电子枪的研究，有效避免灯丝电流磁场对电子束束流分布的影响，所获得的电子枪束流能量集中， 消除能量分布多峰的问题，同时由于磁场影响的消除，电子束束斑的尺寸大幅度减小。由于红外激光加热溅射效应可以忽略， 阴极的寿命得到大幅度的提升。由于束流能量更加集中和斑点尺寸减小，焊接时的能量输入减小，零件的相应变形也较小。 该电子枪特别适于高精密零部件焊接及需要 良好束流品质热源的领域，如电子束微纳加工、高精度 3D 快速成形和打孔等 领域。 关键词：电子束焊接；激光；阴极；电子枪 中图分类号：TG439 ResearchofElectronBeam GeneratorinPrecisionW elding byLaserHeatingCathode GUO Guangyao HAN Ruiqing LIJinwei (ScienceandTechnologyonPowerBeamProcessLaboratory, BeijingAeronauticalManufacturingTechnologyResearchInstitute，Beijing100024) Abstract：Atpresent，manyindustrialfieldsofelectronbeam(EB)weldingneedhighaccurateweldingtechnologythatisuptothe qualityofelectronbeam．ExploratoryresearchinwhichthefieldofEB gun isbasedonlaserheatingcathodeavoidstheeffectof filamentcurrentmagneticfieldtoelectronbeam．TheenergydensiytofEBismoreconcenrtated，andtheenergydistributionisakind ofperfectgaussdistribution．Atthesametime，thespotsizeofelecrtonbeam issmallerthantraditionalelecrtonbeam gun．Because htewayoflaserheatingcathode，anew technique，isadopted，thelifetimeofcathodeisincreasedto200h．Becauseofalladvantages ofthe technique，hteheatinputofworkpieceisdecreased duringweldingprocessthatleadsdeformation ofworkpiecetObe diminished．Sothistechniqueisspeciallyfittoapplythesefieldofhighaccurateweldingfield，micro-nanomnaufacturingprocess， drillingholeandhighaccurate3Drapidprototypingmnaufacture． Keywords：electronbeam welding；laser；cathode；elecrtonbeam generator 出功低的高熔点材料制备。为了获得热电子，必须 0 前言 给带状灯丝加比较高