多晶硅提纯电子束熔炼炉高压电源的研究.pdfVIP

a叶技2014年第27卷第5期 ElectronicSci．＆ Tech．／May．15．2014 多晶硅提纯电子束熔炼炉高压 电源的研究 苏振源 ，韦寿祺 ，王宗坤 ，刘志杰 ，朱思思 ，费 翔2 (1．桂林电子科技大学 机电工程学院，广西桂林 541004；2．桂林狮达机电技术工程有限公司，广西 桂林 541004) 摘 要 利用电子束熔炼炉制备提纯多晶硅，是一种新型且已成功应用到工业生产中的制备方式，其具有制备效 率高、对环境无污染、节约能源等优点。结合电子束熔炼炉高压电源控制器的特点与 目前存在的缺点，提 出一种利用 可控电抗器调压的电源控制方案，并介绍了工作原理及电路特点。实验表明，该控制方式能精确地调节输 出电压，其 本身还具有 自然限流特性，且达到了性能指标。整个系统稳定可靠，克服 了传统的晶闸管交流移相调压控制方式的诸 多缺点，其还具有输入内阻小、短路内阻大、功率因数及运行效率高、对电网无 “公害”等优点。 关键词 多晶硅 ；三相可控 电抗器；闭环控制；自然限流 中图分类号 TN340．12 文献标识码 A 文章编号 1007—7820(2014)05—022—04 ElectronBeamMeltingFurnacelIiglIVoltagePowerSupplyforPolysiliconPurification SUZhenyuan，WEIShouqi，WANGZongkun，LIUZhijie。，ZHUSisi。，FEIXiang (1．SchoolofMechanicalElectricalEngineering，GuilinUniversityofElectronicTechnology，Guilin541004，China； 2．GuilinTHDMech．Elec．EngineeringCompnayLimited，Guilin541004，China) Abstract PolycrystallinesiliconPolycrystallinesiliconisthemostwidelyusedsemiconductormateria1．With therapiddevelopmentofscienceandtechnoloyg ，high—qualitysemiconductorPolycrystallinesiliconhasbecomethe foundationofmodem informationindustry．Usingelectronbeam meltingfurnacetoproduceandpurifiedpolysiliconis anew techniqueandhasbeensuccessfullyappliedtothepreparationmethodsofindustrial productionbecauseofits efficientpollution-freepreparationand eneryg conservationfeatures．A voltageregulationusingcontrolledreactor powercontrolschemeisputforwardconsideringthechraacteristicsofelectronbeam mehingfurnacehighvoltagepow— ersupplycontrollernadtheexistingshortcomings，anditsworkingprincipleandcharacteristicsofthecircuitraein- troducedindetail．Experimentsshowthatthiscontrolmethodcai1accuratelyadjusttheoutputvoltagewithanatural currentlimitingcharacteristic，whichfullyachievestheperformn