建筑陶瓷缺陷的扫描电子显微镜分析.pdfVIP

-眶_I~哥1园—m圜日 2o14年第10期 黠元 建筑陶瓷缺陷的扫描电子显微镜分析 摘要：提供 了一个使用扫描 电镜的分析方法，描述 了扫描 电镜的结构和操作原理，解释 了电子柬和样品 之间的反应 基于三个例子 ，两个天然红黏土屋面瓦泛霜的实例和引起剥落的粗粒度成分的例子 ，阐述 了用扫描 电镜分析的步骤和可能性 1 概述 扫描电镜的内部结构见 2=．电子束从电子怆发 很多人已经看到 J蚂蚁或其他微生物的扫描 电 m ，电子枪 由阴极 、Wehnelt汽缸和 ；日『极板组成 、KI 镜影像，这个分析方法不仅广一泛地应}l{在生物学或其 Keramik研究所股份有限公司使用的扫捕 电镜r}I1阴 它W T：领域， 陶瓷 I也是非常有用的分析方法。扫 极是南0．1rnnl厚的钨制成的发射阴极。 檄(阴极电 描电镜分析适川了缺陷非常小，或没有足够的材料进 辉 )被加热 ，}h于阴阳极问的电 差，}乜子做发射并 行x一射线荧比分析(XRI))或x一射线衍射测量(XRD) 加速 ，产生 的电子束集rft 磁透镜_J( 光镜 、物 fl1j，川 】‘分析裂缝 、泛擀、剁落 ，或天丁可 的外观缺 镜) 这螳磁透镜南载流线圈和铁磁心构成 聚光镜 陷和成分的分析j攀丁分析发现的情况 ，可以得 出导 结合光阑共同使J=}【j，通过两个透镜改变 阑孔处电 致缺陷的 大【I1 子束的直径以调整电子束，电子束的直径越大，允许 2 扫描电镜的结构和操作原理 通过光阑孔的电流越低，电子束被压缩 ．物镜将 电子 KIKeramik研究所股份有限公司，使用一台型 束集中在样品表面，电子采慢慢地扫过 (比栅扫捕)样 号为JSMT330A扫捕电镜 ，南rj本电子光学实验室提 品表面形成影像。电子束通过扫描线圈控制，扫捕线 供 这 H捕电镜 由一个电子枪 (1)干¨位于光束路径 圈产生磁场 ， 电子束方向成直角。偏笳越小 ，电子 底端的样品室组成 样品室 巾，安装有样品架 、各 束扫描的 域越小，H-放人牢越离。入射电予束引起 种探洲器，如BSE探测器、sE探测器和x一射线荧光探 样品间的相一与作用，由探测器进行分析 (BSE，SE探洲 测 令套系统还包括一台用于控制光束和处理探 器 )， 测器数据 的计算机 ，处理结果能够以图表的形式显示 阴极塞 监视 另外 ，系统需要两 台真窄泵 ，以产生前 级真伞(旋转 前级 空泵)和高真泵(真空扩散泵 )， 0 — $ Wehnelt~ 、- 电子发射 阳极 一… 一一__ 以及冷却系统 真 对于避免电子和环境 中气体颗 豳 # 聚光镜 、、 聚焦样品 粒的碰撞足必需的。 ＼ 努 、 … 一 … 一 誊菇≯一商真样空品泵～’膏～重罟篇薯莲‘’ 律灞鐾 囊空度3×10 。 ． 27Tarr