粉末形状对SnO2靶材烧结性能的影响.pdfVIP

第 13卷第5期 粉末冶金材料科学与工程 2008年 10月 V_0】．13NO．5 MaterialsScienceandEngineeringofPowderM etallurgy OCt，2008 粉末形状对SnO2靶材烧结性能的影响 邓志军，邓燕来 (湖南稀土金属材料研究院，长沙 410014) 摘 要：将平均粒径为75～150nnl的线状、片状和近球形纳米SnO2粉末，分别在25MPa压力下压制成形，以及 在 1050℃、1300℃和 1500℃温度下无压烧结，获得不同密度的高纯sno2陶瓷靶材，并对不同形状纳米sno2 粉体制备的靶材进行断口形貌观察及密度分析。结果表明，近球形纳米 SnO2粉体在低温无压下烧结的靶材性能 明显优于其它两种形状粉体的靶材性能，前者在 1050℃下烧结2h后，相对密度接近90％，且坯体表面光滑、 平整，易于加工成形，已用于批量生产。 关键词：纳米粉；SnO2：陶瓷；烧结 中图分类号：O482．4 文献标识码：A 文章编号：1673．0224(2008)一305．03 InfluenceofpowdershapeonsinterperformanceofSn02targetmaterial DENGZhi~un，DENGYan-lai (HunanRareEarthMetalMaterialsResearchInstitute，Changsha410014，China) Abstract：TheSnO2ceramictragetmaterialswithdifferentdensitieswerepreparedrespectivelybysinteringthegreen compactat1050 ℃，1300 ℃ and 1500 ℃ undernaughtpressure，usingrespectively lniera，platelikeandnear sphericalSnO2powderwithaveragerganularityof75～ 150nlTlasraw materia1．andhteirfractureappearancenad densitywerecompared．Theresultsshow thathteceramictragetmaterialpreparedbyusnignearsphericalSn02and sinteringitsgreencompactat1050 ℃ for2hundernaughtpressureisobviouslysurpasshtoseofsinteredwiht both linearandplatelikeSnO2powdersaswellasmedialandelevatedsintertemperatureofI300nad1500 ℃． Keywords：nnaometerpowder；Sn02；ceramics；sintering SnO2气敏材料可用于对H2、CO等许多可燃气体 致密性好，但 SnO：是一种难熔物质，其熔点为 和有毒气体进行检测，但其敏感性、选择性和稳定性 1900℃，密度为 6．95g／cm ，很难获得高致密度的 还有待于进一步提高1【J；而提高的关键在于对 Sn02薄 SnO2烧结体。为了提高 SnO2的致密度，最好的方法 膜微观结构的调控。除气敏件外，SnO2在液晶显示、 是添加一些过渡族金属氧化物来促进烧结的进行 J。 光探测器、太阳能电池、光催化、电催化、保护涂层 然而，添加剂的使用必然导致杂质含量增加，致使制 等领域同样具有广阔的应用前景。另外，SnO 薄膜还 备出的SnO 薄膜的折射率不高。另外，高温烧结过程 是一种重要的介质薄膜，可用作绝缘膜、保