硅基波导光开关及开关阵列的研究进展.pdfVIP

第38卷 第 11期 激 光 与 红 外 Vo1．38，No．11 2008年 11月 LASER ＆ INFRARED November，2008 文章编号：1001-5078(2008)11·1073-04 ·综述与评论 · 硅基波导光开关及开关阵列的研究进展 陈媛媛 ，吴静珠 ，余金中 (1．北京工商大学信息工程学院，北京 100037；2．中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室，北京 100083) 摘 要：光开关是光网络中实现光交换的核心器件。硅基波导光开关作为一类重要的开关器 件，具有体积小、开关速度快、兼容性好等优点。近年来随着硅基波导制作技术的成熟，硅基波 导光开关及开关阵列的研究 日益受到人们的重视。文章介绍了SOI(silicon—on．insulater)光波 导、聚合物光波导和SiO：光波导等三类常见的硅基波导在光开关及开关阵列方面的一些研究 进展。 关键词：光开关；光波导；SOI；聚合物；SiO： 中图分类号：TN252；TN256 文献标识码：A RecentProgressinSilicon-basedWaveguideOptical SwitchesandSwitchArrays CHEN Yuan—yuan ，WUJing．zhu ，YUJin—zhong (1．InformationEngineeringCollege，BeijingTechnologyandBusinessUniversity，Beijing100037，China； 2．StateKeyLaboratoryonOptoelectronics，InstituteofSemiconductors，ChineseAcademyofSciences，Beijing100083，China) Abstract：Opticalswitchesarekey componentsin opticalnetwork to implementoptical exchanges．Silicon—based waveguideopticalswitchesareimportantswitchdevicesbecauseofsmallbulk，fastswitchspeed，andgoodcompatibil- ity．Recentyears，withthematurationoffacturetechnoloyg ofsilicon—basedwaveguides，hteresearchonsilicon-based waveguideopticalswitchesandswitcharrayshasattractedmoreandmoreattentions．Inthispaper，therecentdevelop· mentsinopticalswitchesandswitcharraysbasedonthreekindsofsilicon—basedwaveguides，includingSOI(silicon— on—insulater)，polymerandSiO2，arereviewed． Keywords：opticalswitch；opticalwaveguides；SOI(silicon·on—insulater)；polymer；SiO2 l 引 言 2 SOI光开关 硅作为一种成本低廉、制作和加工工艺成熟的 SOI材料最初由于具有抗辐射等优点主要是被 半导体材料，在微电子学方面已经有着广泛的应用。 应用于微电子技术中。20世纪 80年代后期 90年 近年来在导波光学领域，各种硅基波导器件的研究