氦质谱探漏的灵敏度实验.pdfVIP

．．．一一……一．榆漏技术 贵州贵阳 2004年9月 、 ?氦质谱探漏的灵敏度实验 ＼／ 彭晓华齐铁柱杨奇 中科院高能物理研究所 对于体积小、放气率和漏气率都小的被检件可直接与检漏仪连接进行检漏，无需辅助真 空系统。对于漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，则需要采州辅助真兰；三系统。 为了最大程度上发挥仪器的最小可检灵敏度，把氦质谱检漏仪(简称氨仪)0机组采用 不同的接法，仪器所显示的灵敏度信号是不同的。 F面简单介引二二种接法： ，．叵]__[互二卜_因 2 BEPC储存环要求每单件漏率10。10Torr·L／s。分析三种连接方法： 第一种连接方法是最理想的； 第二种连接方法则机械泵的抽速不宜过大。 去年暑期我们在工厂验收IWI、382和4W2改造真空盒采用的是第二种结构，只是为 了防止质谱窒被污染，在氦仪前添加了一个液氮冷阱。如r图： 当然此时机械泵有一定的分流，但由于加冷阱后，氦仪实现正扩散检漏，仪器同样可发挥最 小可检灵敏度。 图(3)的结构在不使用液氮的情况下，从中间级引出氦信号．由于加阀门‘订流，氦仪同 样能实现止扩散。灵敏度较高。我们用两台F8．110分子泵机组改装成如幽(3)所示结构。同 时是要得到漏孔产生漏率与仪器实际信号进行比较。从而得到氦信号反应的实际数据。 选用A、B两种不同的漏率的标漏。利用图(3)分子泵加KF40做节流阀：当中间级真空 达到8×10‘2Pa时，使氨仪与之连接处产生了这样一个较好的真空后，氦仪本底噪声也降低 了。此时，若降低抽速S(关KF40阀1则进入质谱室He分压随之提高。从而使检漏仪灵敏度 中国真空学会质增与植漏专委会第十二届年会·中国计量蔫试学会真空较准专委金第七届年会 的漏率是1．9×10～Torr·L／s。 AB刮lB圈一 当关闭手动阀时．分子泵分流被隔断，可简单示之为 mbarr·1／s 此时ASMl21本底为1．2×10。9 A的漏率是 ASM信号为 实际信号为 3．9×10一Torr·L／s 4×10一mbarr·L，s mbarr·L／s (4-1．2、×104 B的漏率是 ASM信号为 1．9×10…Torr-L／s 1．4×10～mbarr·L／s 忽略本底 当采_I；{j幽(3)结构，全开手动KF40阀时 A漏孔产生的信号为 25×10“”mbarr·L／s B漏孔产生的信号为 6．0×10一mbarr·L／s mbarr·L／s 此时ASMl21本底为1．5×10。o ·”注：漏率单位，1mbarr·Us=l；33Torr!L／s；lTb玎·L／s0．75l mbalT·L，s聿’‘ 从数据分析可看到，此时由于分子泵抽速较大，真空度较好对A漏孔：3．9×104Torr·L／s 10。10 产生信号误差为2．5x10。…mbarr·L／s．减去1．5x10。ombarr·L，s。信号变化率为1．0x Torr·L／s 10‘9 漏孔的信号为5．8×10一Torr·L／s。此时仪器误差为信号减去本底为(5．8-4．6)x =1．2×104Torr·L／s。 上述实验说明只是漏率在仪器的反应。但漏孔经10年后漏率也相对降低。我们要从I． 程探漏角度着想。 用下面结构