磁性薄膜电阻率自动测量虚拟仪器系统.pdfVIP

磁性薄膜电阻率自动测量虚拟仪器系统十 江建军王一楠 华中科技人学电子科学与技术系，武汉430074 摘要：磁性薄膜电阻率较小，需要精确测量。双电测四探针法测量电阻率比传统四探针法更精确， 但是步骤繁复不方便实现自动化测量．虚拟仪器技术将测量设备和计算机结合，测量方式选择性大， 数据处理方便。本文介绍应用虚拟仪器技术实现双电测法测量磁性薄膜电阻率的过程。 关键词：磁性薄膜电阻率双电测法虚拟仪器技术 1引 言 电阻率是磁性薄膜的重要性能参数，电阻率测鼍是研究磁性薄膜异性磁电阻等效应的基础。直流四探 针测试法是十分成熟的材料电阻率测晕方法，广‘泛的应用丁．微电子行业。国内外文献中磁性薄膜电阻率测 量都应用四探针法完成。 基本四探针法操作简单但受样品形状限制且精确度不高，而磁性薄膜一般采刚溅射镀膜，基片形状是 长方形且尺寸很小；电阻率相对半导体材料米说比较小，普通四探针法已不能适应这样的测试要求。带有 精确修正的测试方法，比如双电测组合法，步骤繁琐，计算复杂，不方便手动操作。 虚拟仪器技术是通过编程将分立仪器整合以完成特定任务。数据处理、传递过程在程序内部完成，只 在界面上显示最终的结果，适合步骤繁复伴随复杂计算的测颦过程。本文介绍应用虚拟仪器技术实现双电 测组合四探针法自动化测量磁性薄膜电阻率的过程。 2四探针法测量原理 四探针法的基本原理是构建系统的基础。对测量结果的修正方法，从原始的夯表到通过改进测量方法 简化修正算法，是四探针法讨论的重点。如引言中所说本系统采用双点测法，其基本思想是通过调整电流 电压探针的位置来屏敞尺寸冈素对测鼍结果的影响。作为对比，系统还提供了其他测量方法的测量结果。 2．1基本四探针法 基本四探针法的示意图如图1，测量的样片要求平坦且近似无穷大。将直流电流，在两外侧探针通入 试样，测量内侧两探针间产生的电势差屹3Ill, 当膜厚度Ⅳ相对．『探针间距s可以忽略不计时，即无限人样品时电阻率p为： p：坐．堕 。 In2 ， 基金计划资助项目(2005A88002)· 作者简介t江建军(1965一)，男，湖北武汉人，教授，主要从事电磁吸波材料及吸波机理研究；王一楠(1984一)，男， 陕西咸阳人，研究生，研究方向为虚拟仪器理论及应用。 当膜厚度W相对于探针间距S不能忽略不计时．即半无限人样品时电阻率p为： p=2aS．孕 (2) 1 2．2Perloff的修正 厚度修歪‘“。 p=孕A(ct)KaW (3) 对下传统四探针法测龄而厉i卉!找圈袭得剑修正闲予的方法不周，Perloff给出的《经验公式，是只和口 有笑，方便自动化测螭实现，本系统作为参考显示其测鬣结果。 2．3双电测缀合法 双电测组仓法是霸探针法魄新发展．它是指让墩凌通过不同的搽针慰，测爱另外巍锤闫的电垂，进行 组含-按相关公式求出电阻率的傅，这样可以消除儿何影响，减小边界效应㈣。 。 烈电测法共有三种模式，每个模式连接翔淘2 址皿皿皿，皿皿 V23114 y24113 嵋4，12 U3114 y弘亿 V24113 Model Mode 2 Mode3 圈2双电测绢台四撵针法的兰种组合模式 电阻率的计算