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微弧氧化法制备磁性薄膜及其组成结构分析.pdf
年增刊 ( )卷
154 2014 Ⅱ 45
: ( ) ( )
文章编号 1001刊 Ⅱ G154G04
微弧氧化法制备磁性薄膜及其组成结构分析∗
,
12 1 1 1 1 2
, , , , ,
陈志彦 向洁琼 吴义强 谢力生 杨 亿 李文芳
( , ; , )
中南林业科技大学 材料科学与工程学院 长沙 华南理工大学 材料科学与工程学院 广州
1. 4100042. 510640
: , , . , 、
摘 要 以钛金属作衬底 溶液为主要原料 膜 研究磁性薄膜的制备工艺 并对它的组成 结构和
FeSO4
, .
采用微弧氧化法制备了磁性薄膜 薄膜的饱和磁化强 性能进行表征
2
/ . .
度为77.7A m kg 探索了薄膜的形成工艺 运用
实 验
2
、 、 和 等手段表征了磁性薄膜的组成
IRXRDXPS SEM
, ( ) 、 , 、
和形貌 结果表明磁性薄膜主要由FeO 和 FeO 将纯钛金属片用粗砂 细砂打磨 接着用酸洗 再
3 4 2 3 x
, . 、 ,
2H O晶体组成 表面比较光滑致密 简要推断了 用蒸馏水清洗干净 吹干 将处理后的钛金属片放入
2
. , ,
磁性薄膜的形成机理 FeSO4溶液中 接通电源 控制适宜的工艺参数进行微
: ; ; ; , 、 ,
关键词 微弧氧化法 磁性薄膜 组成结构分析 氧化 弧氧化 然后把钛金属片取出用蒸馏水冲洗 吹干 即
铁 可制得厚度约为几到几十个微米的薄膜.
: : ,
中图分类号 TG132.2 文献标识码 A XRD分析在 PhiliXGert衍射仪上进行 测试参
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