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微弧氧化法制备磁性薄膜及其组成结构分析.pdf

年增刊 ( )卷 154 2014 Ⅱ 45 : ( ) ( ) 文章编号 1001刊 Ⅱ G154G04 微弧氧化法制备磁性薄膜及其组成结构分析∗ , 12 1 1 1 1 2 , , , , , 陈志彦 向洁琼 吴义强 谢力生 杨 亿 李文芳   ( , ; , ) 中南林业科技大学 材料科学与工程学院 长沙 华南理工大学 材料科学与工程学院 广州 1. 4100042. 510640 : , , . , 、 摘 要 以钛金属作衬底 溶液为主要原料 膜 研究磁性薄膜的制备工艺 并对它的组成 结构和     FeSO4 , . 采用微弧氧化法制备了磁性薄膜 薄膜的饱和磁化强 性能进行表征 2 / . . 度为77.7A m kg 探索了薄膜的形成工艺 运用 实 验 2    、 、 和 等手段表征了磁性薄膜的组成 IRXRDXPS SEM , ( ) 、 , 、 和形貌 结果表明磁性薄膜主要由FeO 和 FeO 将纯钛金属片用粗砂 细砂打磨 接着用酸洗 再 3 4 2 3 x , . 、 , 2H O晶体组成 表面比较光滑致密 简要推断了 用蒸馏水清洗干净 吹干 将处理后的钛金属片放入 2 . , , 磁性薄膜的形成机理 FeSO4溶液中 接通电源 控制适宜的工艺参数进行微 : ; ; ; , 、 , 关键词 微弧氧化法 磁性薄膜 组成结构分析 氧化 弧氧化 然后把钛金属片取出用蒸馏水冲洗 吹干 即   铁 可制得厚度约为几到几十个微米的薄膜. : : , 中图分类号  TG132.2 文献标识码 A XRD分析在 PhiliXGert衍射仪上进行 测试参

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