微力技術及應用發展趨势.pdfVIP

微力技衍及虑用霰展趣势 遥丛!匾1隙生瑞2菜贤基3潘福隆4 1工研院量测中心研究具E-mail：Sheau．shi．Pan@itri．org．tw 2工研院量测中心研究具E-mail：SJ．Chen@itri．org．tw 3荤中理工大孕教授E-mail：Y曼茎i垒西i垡匹垒i!：地§￡：鲤丛：照 4工研院量测中心副研究员E-mail：FLPan@itri．org．tw 摘要：微力的研究筢圉是研究lO微牛顿(uN)以下力的追溯方法以及虑用技衍。本文将介 绍美圆NIST、韩国KRISS以及台湾量测中心CMS近柬微力檩荤技衡骚展以及技衍虑用情 形。美国NIST是以鼋子天平架耩改造後下探10微牛顿(uN)以下的力量檩辈追溯、KRISS 剐以超尊量子干涉元件施设於薄片探针上外加磁埸梯度以寅现微力檩犟、量测中心(CMS) 近年刖横槌霰展扭稻式微力榇辈，希望以扭稻的结耩寅现微力榇犟。本文将封遣些微力檩 犟在技衍及虑用上作一介绍蓝封输将来可能之袋展。 网键字：微力、超尊量子干涉侥、静鼋力天平 1．引言 微力檩辈的定莪目前是以10微牛顿以下的力定羲微力尺度。主要的考量依法码追溯的 最小能量捣10 mg，而依摅遣徊赏量的重力定羲捣力量可追溯的下檩值。徒檩犟旌|用领域可 满足一般傅统力量的追溯需求。然而近年由於奈米壁痕器的使用及骚展，相封於墅痕技衍 的虑用筑圉，可用於非常小的施力及位移上，分析造颊力-,67_移的资料，可以同畴判断檬本 的硬度及弹性傺敷【5】。遣獯量测颓型是耦深度感测壁痕，用於微小的力及深度畴，此项技 nN， 衍稻羯奈米壁痕技衍。先造的奈米燮痕位移解析度通常小於lam，力的解析度小於1 徒壁痕深度测得小於50am以下的横械性赏。居於逭倜棵犟追溯需求下各侗园家寅黔室袋 展其微力棵举横耩。其中美囫NIST以五年的期同使用圆筒鼋容静鼋力横槽骚展其微力橇 耩，寅现10|IN以下之力量追溯。亚用此横槽校正测定原子力颞微镜探针弹力傺敷。裤固 KRISS剐骚展超撙量子干涉式薄片探针横槽以寅现300pN以下之微力棵犟；蓝以傅统微量 天平校正测定原子力颞微镜探针弹力保敷。量测中心(CMS)霰展扭稻式微力橙槽，以寅现 100 pN以下之微力榇辈。 2．各式微力系统及橇横简介 本段将介绍三倔园家寅黢室所骚展之微力棵挲楗横。 2．1美圜NIST之徽力系统 2-1．1．EFB在虑燮针傅感器的力量校率虑用 NIST之微力系统是改造现有之静鼋力天平系统(圊l毅针以圆筒式鼋楹鼋容作稳翅镄 制勤器以捣稻具荷重横槽如圆3所示，棰板霉容值和内外徭之比值相网如(1)所示；而受力演 算如式(1)所示【2】。 ，=丢誓(【，f—u；+玑(Ul-U2)) mm。的鼋容梯度，Ul是罩位猖V 其中F是罩位捣nN的力量、dC／dz是单位菊pF 负载前施加在外鼋褪上的鼋壁，U2是罩位菊V负载後施加在外鼋棰上的鼋壁，而V。则 172 field 是表面埸效虑所生鼋棰之同(surfaceeffect)的鼋位差。我们监非直接量测vl，而是反 耨所施加鼋壁的梗性，揉用所计算出鼋力的平均值【3】。 NIST跟撩此獯原理建立了静鼋微力的主要棵端使用同轴圆筒型鼋容器配置以寅现力 Force 操作，是使天平的受负苛以静鼋力沿著平横釉的力量翅馈之。 雹壁施於成封的巢状同轴圆筒(项目3及4，国4)上畴即虚生静鼋力。外瑗的高鼋 壁圆筒是固定的，而内瑕鼋氟接地的圆筒则可沿著z一轴自由辖移，改燮重璺的程度。原则 上，此穗栽何形状的鼋容是遣雨佃圆筒重叠的综性函敷如式(3)。如果配置完全同轴，平面 鼋容梯度将具有径向封稻性，因此虚生的鼋力方向将完全沿著zI轴。精了定羲此轴的封稻 性，内瑕圆筒悲吊在封抗平衡的平行四遗形连捍上(项目1，圜4)，使用了一系列的交叉 弯曲的枢轴。遣项橇制在移勤釉上的限制佳，可轻易地封齑重力，大幅降低受偏轴力的影 N 警，同畴轴上的刚性可透遇使用全新的碾力弹簧，蘸燮