毫米波用输能窗宝石材料金属化研究.pdfVIP

35．毫米波用输能窗宝石材料的金属化研究 金宇梁田 南京三乐电子信息产业集团有限公司 摘要：采用烧结金属粉末法，以钨金属为主体，并添加微量活化剂，对氧化铝单晶宝石陶瓷进行金 属封接，获得了良好的封揍陛能，满足使用强度和气密要求。 关键词：氧化铝单晶宝石瓷；烧结钨粉金属粉末法；烧结温度 引言 随着电子科学技术的发展，电真空器件向大功率，小型化发展，毫米波己成为市场 的趋势。作为行波管关键的技术部位，输能材料对行波管性能起着关键的作用，而能量 输出窗口对其瓷件要求极高，因为输出窗出的高频能量比输入处大很多倍，若瓷件的介 质损耗角大，则会产生很大的能量损耗，严重影响器件的增益Ⅲ。一般的95或99氧化 铝陶瓷已不能满足其要求，需要更高热导率，更低介电损耗和更高高频透过率的新材料 来代替。从成本和性能考虑，宝石材料是首选。但是宝石是Q—A1：0。单晶，不存在玻璃 相，而传统的活化钼锰法的机理是玻璃相迁移理论瞳。33，因此，宝石材料活化钼锰法金属 化难度很大。本文采用烧结钨粉金属化法对宝石进行金属化，与活化铝锰法进行性能对 比，获得了理想的封接性能。 1、金属化方法的选用 由于宝石材料不存在晶界，也不存在玻璃相，因此，传统的活化钼锰法玻璃相迁移 理论已不再适用于宝石材料，因此作者采用烧结钨粉金属粉末法，以钨粉为难熔金属， 加以少量氧化钇(Y：0。)作为活化剂，利用高熔点的钨金属作为金属化层基体，氧化钇 与宝石瓷表面层上的氧化铝发生一系列化学反应，形成一层很薄的过渡层，很好的连接 了宝石基体和钨金属基体，从而获得良好的封接气密性和强度。 2、金属化膏剂的配制 称取一定量的钨粉和氧化钇，加入硝棉溶液进行混合球磨，球磨120小时以上。手 lam。 工涂覆该膏剂于试验宝石瓷环，涂覆厚度为40--50 3、金属化烧结 金属化烧结温度是金属化工艺成败的关键因素。经过多次试验，烧结钨粉法温度要 m一--5m。 露点控制在20。C一--30。C。金属化烧结后再电镀一层镍，厚度为3u u 图1是烧结钨金属粉末法的宝石金属封接试验部件的工艺流程。 23l 图l钨金属烧结金属化法工艺流程 由于宝石不易加工成标准抗拉件，因此采用95一氧化铝陶瓷标准抗拉件中间夹封宝 石瓷环，如图2所示，进行抗拉强度试验；宝石瓷与无氧铜金属夹封，如图3所示，进 行热冲击和热烘烤气密性试验。 ：-■． ?善 ’．．： ， 7 ___ 。o {最螽? 森 √ ， ＼ 纱。 宝i拜 +‘．_ 窖曩二 _r l ；i．采嚣*