降低振动环式微机械陀螺同频干扰的方法研究.pdfVIP

维普资讯 · 4· 《测控技术2008年第27卷第7期 降低振动环式微机械陀螺同频干扰的方法研究 韩 磊 ，李守荣 ，王军波 ，陈 李 ，陈德勇 (1．华北电力大学 电气与电子工程学院，北京 102206；2．中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室，北京 100080) 摘要：受MEMS加工工艺等因素影响，振动环式微机械陀螺存在一定的不对称，引起检测端的同频干扰，导致检测信号的 信噪比降低。通过对振动环式陀螺进行激励模态和检测模态的动力学分析，研究激励信号、干扰信号和Coriolis力之间相 位关系，提出降低同频干扰的解决方法，以提高陀螺检测灵敏度。 关键词：振动环式陀螺；同频干扰；解决方法 中图分类号：TP212．12 文献标识码：A 文章编号 ：1000—8829(2008)07—0004—02 M ethodstoReducetheCo-FrequencyInterferenceofVibratingRingGyroscope HANLei一，LIShou—rong，WANGJun．bo。，CHENLi，CHENDe．yong (1．CollegeofElectricalandElectronicEngineering，NorthChinaElectricPowerUniversity，Beijing102206，China； 2．StateKeyLabofTransducerTechnology，InstituteofElectronics，ChineseAcademyofSciences，Beijing100080，China) Abstract：ManufacturingdefectsofMEMSprocesscausesasymmetrictostructuresofvibratingringgyroscopy，thusitresultsinco- ~equencyinterferenceofthesensor，whichreducesthesignalnoiseratio．Dynamicanalysiswasusedtofindoutthephaserelation- shipsamongexcitationforce，interferencesignal andcoriolisforceofgyroscopy，thereforehtemehtodstoreducethedisturbancesare proposedinordertoimprovethesensitivityofthesensor． Keywords：vibratingringgyroscopy；co，~equencyinterference；methods 振动环式微机械陀螺结构对称性好，其振动模态在同一平 1 振动环式微机械陀螺工作原理 面上，避免阻尼等因素造成激励和检测模态的频率失配。因此， 两个相同的振动模态提高了传感器的品质因数 ，使其具有更好 电磁激励振动环式微机械陀螺结构如图1所示 ，振动环由 的灵敏度”J。但是，传感器在MEMS加工过程中，由于加工因 8根支撑梁固定，匀强磁场垂直环面穿过。振动环对称性好，陀 素如深刻蚀以及材料结构性能等的影响，势必造成器件结构质 螺工作时激励模态和检测模态频率在理想情况下完全相同，并 量和刚度的不对称，使得激励模态的实际振动轴向与理想轴向 且振型在同一平面上，这样陀螺在大气条件下工作时也能保证 存在偏差 ，引起由激励力产生刚度分量和阻尼分量的同频干扰 ， 激励模态和检测模态的阻尼相同，使得两模态谐振频率相等，因 导致检测信号的信噪比下降。因此 ，找到降低 同频干扰的有效 此可获