红外焦平面列阵和光电探测器件的研究.pdfVIP

赵连城：红外焦平面列阵和光电探测器件的研究 红外焦平面列阵和光电探测器件的研究’ 赵连城 (哈尔滨工业大学信息功能材料与器件实验室，黑龙江哈尔滨150001) 本文指出：红外探测器的研究目前主要集中在改善单元器件性能，发展大型光电扫描列阵，提高使用温度，以 及追求廉价和使用方便；提高灵敏度和焦平面列阵复杂成像系统的图像清晰度在军用和民用中取得了重要进展， 如红外热成像、导航、探测、监视、测距和通信系统等。接着，综合分析了量子阱和超晶格、双波段量子阱、量子点 红外光电薄膜材料和器件的研究现状和发展趋势。着重介绍了量子阱和超晶格红外光电薄膜材料探测器件的优 越性，包括探测波长连续可调、通过“带隙工程”可调节量子阱宽度和势垒高度、光谱响应宽度可达3～20pm；并且 制备技术成熟，可获得面积大、均匀性好、成本低、性能高的大面积量子阱超晶格红外焦平面列阵，光谱响应带宽 度可控制在从以≈10％(约lpm)；不同波段光子串音小；并且热稳定性和抗辐射性好，特别适用于天基红外探测 多色探测f载流子有效质量大，可有效抑制隧穿暗电流；光吸收系数大，响应速度快；零偏压电阻(R。A)高，有利于 制作焦平面列阵探测器I俄歇复合效率低，载流子寿命长，在相同的性能指标下，工作温度高，可实现室温操作。 评述了双波段量子阱红外光电薄膜材料的发展。讨论了红外焦平面列阵成像系统的结构，其中包括混合红外焦 平面列阵，整体红外焦平面列阵，以及凝视型红外系统等。研究表明，多量子阱红外探测器响应速度快、探测率 高、探测波长可调、外延工艺成熟，易于得到优质、大面积均匀的多量子阱材料，因而便于制作大面积焦平面列阵 成像系统，并易于制成多色焦平面列阵，这无疑有利于像元配准，提高多色焦平面列阵系统的性能。文章还研究 了红外+紫外双色探测器的结构。结果表明，采用金属有机化合物化学气相沉积法在蓝宝石衬底上生长异质结界 面逸出功内光电子发射(HEIWIP)结构，可在紫外一中红外和紫外一远红外两个波段区操作，这种探测器可用于发 展双色探测器的特别应用；通过调整层中的成份，带间和带内响应波长范围可分别确定。此外，本文亦对量子点 红外探测器件的主要特点进行了深入分析，确认这种全维度限制载流子是红外半导体异质结构中的理想结构，其 工作波段可覆盖近、中、远甚至太赫兹的超长红外波段，可实现正入射红外响应、高工作温度、多色响应探测。文 well)红外探测器，从而为红外光电薄膜材料和器件的研究和发展指明了方向。 -收到稿件日期：2009·09-19 通讯作者：赵连城 作者简介：赵连城(1938--)，男。江苏阜宁人，教授，博士生导师．中国工程院院士，长期从事光电信息功能材料与器件的研 究．