双面Si条两维位置灵敏探测器的研制及在空间探测中的潜在应用.pdfVIP

2010 年第二十三届全国空间探测学术交流会论文 双面Si 条两维位置灵敏探测器的研制及在空 间探测中的潜在应用 1 1 1 1 1 1 谭继廉 靳根明 李占奎 徐瑚珊 李海霞 韩励想 1 1 1 1 1 1 魏计房 戎欣娟 王秀华 卢子伟 张宏斌 王柱生 1 1 1 2 2 祖凯玲 鲍志勤 李春艳 龚伟 田大宇 于 民 2 2 王金延 张 录 1 （中国科学院近代物理研究所，兰州 730000 ） 2 （北京大学微电子研究院，北京100871） 摘 要：介绍了在核物理和高能物理实验研究中使用的新型探测器--双面硅条两位位置灵 敏探测器的结构，工作原理，制备工艺及测试结果。该探测器的灵敏面积为50×50 mm2,前面和 背面都被分为相等宽度的16 条（每条的面积为50×3mm2）,在微电子工艺线上采用平面工艺和 离子注入技术制备。在-25 伏偏压下，各条的反向漏电流都10nA,对前面16 条的能量分辨进行 了初步测量，得到2.2%的能量分辨率（对5.486MeV α-粒子）。 关键词：平面工艺 双面Si 条探测器 反向漏电流 能量分辨 随着核物理和高能物理实验研究的发展，双面硅条探测器得到了广泛的应用。 在不能太多增加束流时间的条件下，对实验测量精度提出了更高要求。特别是在放 射性束核物理实验研究中，为了更精确地确定反应产物的空间位置，以及两个出射 粒子之间的关联，需要在更大的角度范围内对出射产物进行测量。利用双面硅条探 测器可以同时在很大的角度范围内对出射产物进行关联测量，从而大大节省宝贵的 束流时间。例如在 9C ＋Be→p ＋2α＋Be 反应的研究中，就利用双面硅条探测器在前 9 角度（±20°）对 C 出射的p 和2α 进行了关联测量，对其结构的研究提供了重要信 17 17 息。在 F ， O 在核上的弹性散射截面的测量中，利用这种探测器不仅提高了实验 精度，也节省大量的束流时间。 1 双面硅多条两维位置灵敏探测器的结构及工作原理 双面 Si 条两维位置灵敏探测器的结构示意图如图 1 所示。探测器的灵敏面积为 2 50 ×50mm ,前面（P 面）分为相互平行，宽度相等的 16 条，每一条条宽为 3mm,长 + 为50mm，相邻条之间的间距为100 µ m。前面进行P 型掺杂，背面进行N 掺杂， 背面（N+面）与前面（P 面）一样，也分为相互平行，宽度相等的 16 条，每一条条 宽为3mm,长为50mm，但条的走向与前面条的走向垂直，并在每个条上蒸一层Al ， 作为背电极。这样，就构成了一个两维位置灵敏探测器。当探测器加上反向偏压时， 随着偏压的升高，其耗尽层（I 区）会不断增加。当反向偏压足够高（例如对于该种 探测器，当偏压 V =20V 时），探测器会处于全耗尽状态。当带电粒子穿过或被阻止 B 在I 区时，该粒子会产生其数量与该粒子能损成正比的电子-空穴对。在工作偏压VB 2010 年第二十三届全国空间探测学术交流会论文 形成 图1 双面硅条两维位置灵敏探测器结构示意图 的电场作用下，这些电子，空穴分别向背面电极和前面电极运动，收集这些带电载 流子即可得到信号。图2 为实物照片。 a. 正面（P 面） b. 背面（N 面）