纳米长度测量标准化研究.pdfVIP

电子显微学报J．Chin．Electr．Microsc．Soc． 25(增刊)：283—2842006年 283 纳米长度测量的标准化研究 盛克平，何宝林，杨伟浩 (y-海市计量测试技术研究院，上海200233) 本文从纳米测量的标准化文件、标准物质、测量 1纳米测量的标准化文件 不确定度的评定三个方面简述了宥关纳米长度测量 在纳米长度测量方面，网前使用比较重要的仪 方滚的标准化概况及匿凌舞惹遴震。 器程榛应的标准文徉翔表1。 表l 纳米长度测量仪器及相关的标准 2标准物质 准物质。其它的还有美国Norrox科学公司，图2是 有了纳米测量的标准文件，如果没有相应的标 该公司的硅(001)的基体上间隔生长掺锗的硅和硅