类毛虫状纳米级碳膜场致电子发射研究的论文.pdfVIP

类毛虫状纳米级碳膜场致电子发射研究’ 王丽军，王小平”，吕承瑞，雷通，章诗，朱玉传 上海理工大学理学院，上海200093 摘要：本文采：用微波等离子体化学气相沉积设备，在陶瓷，金属铜膜衬底上沉积出了较大面积(4cm2)并 具有复杂表面结构的类毛虫形状纳米级碳薄膜，分别用扫描电子显微镜(SEM)，金相显微镜和x射线衍射 谱(XRD)及Raman谱对样品进行了结构分析测试。进一步的场致发射测试结果显示：此种类毛虫形状 纳米级碳薄膜具有场发射大面积大(4cm2)、发射点密度高且发射均匀的特征，其场电子发射闽值电 mA／m2的较高的场发射电流密度。 场较低(1．5V／gm)，并在外加电场57V／Bin的条件下得到了2．2 关键词：类毛虫状纳米碳膜，场电子发射，化学气相沉积 Fieldelectronemissionfromerucifo珊carbonnano-structurethinfiIres+ Yu-zhuan