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大长一径比扫描探针在微结构形貌测量中的
应用研究
伏明明郭科科陈烨杨运海居冰峰
浙江大学流体传动及控制国家重点实验室，杭州，310027
摘要：研究基于自行研制的纯钨材质的大长-径比手1描探针，并将其应用于某型号的表面形貌仪，对
微流道和复杂微结构的表面彤貌进行了精密测避试验，并与利用单晶金刚石探钏‘的测繁结果进行对照。研
究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功能．尤其在高深一宽比复杂表叫形貌超精密测量方面
的能力。
关键词：大长．径比扫描探针；超精密测帚；微结构；高深．宽比形貌
中图分类号：TB92
of Ratio ProbeinMicrostructureMeasurement
AppficationHighAspectScanning
Ye
Fu GuoKekeChen YunhaiJu
Mingming Yang Bing-Feng
The
StateKeyLaboratoryofFluid
Abstract：An isbasedona ratio
self-developedtungstenhighaspectscanningprobe，
experiment，which pure
was ofa a
conductedtomeasurethe microchanneland microstructure
topography complex respectively．
and ofbothresultsthe anda diamondwerecardedout．
Comparisonanalysis by tungstenprobe single-crystalprobe
Itindicatesthatthe hasthe in measurement，
newlydevelopedpuretungstenscanningprobe capabilitytopography
fitforthe surfacemeasuremenL
ratio
particularlyhighaspect
ratio ratio
Keywords：highaspect scanningprobe；ultra—precisionmetrology；microstructure；highaspect
topography
该技术对被测表面反射率和局部斜率较为
0引言
敏感，线性范围窄，这在具有复杂彤貌的微
随着微纳技术的发展，对超精微细加工 纳结构的测量过程中也是致命的缺陷。
的表而形貌及表而质量进行无损检测的要 另外，可以归纳为接触式测量技术范畴
求越来越高。 Probe
内的是扫捕探针显微镜(Scanning
以Stylus法为代表的高精度探针式轮廓
仪11l或类似装置【2l是接
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