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第七届中国纳米科技西安研讨会论文集
TiO：薄膜紫外探测器的光电特性
王怡‘1江伟“2，邢光建1，武光明1，李东临
(1北京石油化工学院数理系，北京．102617)
(2．北京化工大学材科科学与工程系，北京．100029)
降响应时间约为15s．表明啊02可作为一种良好的紫外探测材料。
关键词：直流磁控溅射：H02薄膜；MSM紫外探测器；光响应
中图分类号TN36 文献标识码A
PhotocurrentCharacteristicsofUltraviolet
with
Detectors Film
Ti02
JIANG XING WU
Y／WANG‘”．Weim．Guangjian 1．Li
1．GuangmingDonglinl
and lnstimte and
仃．DepartmentofMathematicsPhysics，BeUingo／PetrochemicalTechnology。Belting．10261ZChina)．
Scienceand
o／Materials ofChemical
佗．Department Engineering，BeijingUniversity
thinfilmwere thefilmswele
Abstract：Ti02 DC of characterized
preparedby magnetronsputtering，Properties by
and characterisdcsoftheMSM ultxavioletdetectorbased
ⅪtD，Ⅺ’S，SEMUv．Vis，Thephotocurrent photoconductive
filmare ICSultSshowthat detectorhasa
on UV underultraviolet
Ti02 investigated．m Ti02 hi曲crphotocurrent
addition,The remainsconstantfor from230to
region．In sp(弼Era]responsivitynearly wavelength
a
山etransient measurementrevealedfast withrisetimeof20ns．Thetimefor
response photoresponse
riseandreduceweremeasuredtObe3sand15s and of
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respectively．Th
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