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一种新型压电作动器的研究1) 张治君，2) ， 徐明龙， 冯勃 （西安交通大学航天航空学院 强度与振动教育部重点实验室，西安 710049 ） 摘 要： 本文基于蠕动式运动原理研制了一种新型压电作动器，可提供双向变步长的大位移。并设计了含有高 电压驱动装置的实验系统，建立了作动器的动力学模型。采用 MATLAB Simulink 软件对作动器的动力学特性进行了 仿真计算，仿真分析结果和实验测试结果吻合良好。 关键词：蠕动，变步长，大位移，压电作动器 引 言 近年来压电作动器发展较快，它是利用压电陶瓷逆压电效应制作的一类新型精密作动器，理论 上具有体积小、推力大、精度高、位移分辨率高和频响快等优点。到目前为止，还没有出现一种可 提供大位移，并实现双向变步长的压电作动器。文献[1]、[2] 是基于蠕动运动原理的压电直线型作 动器，此类作动器精度较高，但有效作动距离较小，且步长为不可调。文献[3]、[4]、[5]是基于惯性 冲击原理的压电直线型作动器，此类作动器通常对精度要求不高。 本文设计研究了一种新型压电作动器，它基于蠕动式运动原理，可以实现双向变步长的蠕动， 并能提供较大的位移量。并设计了作动器的实验系统，其中包含高电压驱动器、控制器、激光微位 移传感器等。确定了作动器力学模型的各项参数，并对作动器进行了模拟仿真。实测结果与仿真结 果有较好的一致性。 1 压电作动器的结构原理 图 1 为作动器蠕动运动方式的原理图。作动器通过 6 个步骤完成一个完整的步长周期，向右运 动一个步长 S。左侧嵌位压电堆为A ，右侧嵌位压电堆为 C、中间驱动压电堆为B 。各个步骤描述如 下： 初始状态，嵌位压电堆 A 、C 为加电伸长嵌位状态，B 为掉电自由状态； 1）C 掉电收缩； 2 ）B 加电伸长推动右边 C 向右蠕动； 3 ）C 向右移动一个步长后，加电顶住右边轨道形成嵌位； 4 ）A 掉电收缩； 5 ）B 掉电收缩，带动 A 向右前进； 6 ）A 加电伸长形成嵌位。 图 2 作动器一个周期内的电压加载时序。与图 1 作动器一个周期内作动的 6 个步骤相对应，作 动器在一个周期内的电压加载过程也可分为相应的 6 个步骤。通过对图 2 中作动器在一个周期内的 电压加载时序进行循环重复，可以使作动器向右产生连续的运动。位于作动器中间位置的压电堆 B 的驱动电压值可以随着压电堆B 的驱动控制电压信号的变化而连续变化，图2 中加载在压电堆B 上 的电压V1 为压电堆 B 的最大加载电压值200V ，V2 等于 160V，V3 等于 140V。压电堆B 实际加载 1) 国防科工委民用航天预研项目（C4120061315） 2) E-mail: andrewwolfe@stu.xjtu.edu.cn 1 电压在其最大加载电压V1 和最小加载电压 0V 之间连续可变，作动器因此在不同的单步周期内可以 获得不同的步长输出。将作动器左右两侧的嵌位压电堆 A 、C 的驱动电压时序互换，则作动器可向 左产生连续的运动。 图 1 作动器蠕动式运动原理 图2 作动器一个周期内的电压加载时序 图 3 所示为作动器机构图。大位移压电作动器整体机构可分为嵌位、作动和轨道间距微调三部分。 两端两块嵌位压电堆分别粘接固定在相对应的 U 型弹性部件中，加电时产生位移，通过撑开 U 型弹 性部件顶住轨道接触面，达到嵌位目的；位于中间的驱动压电堆加电时产生作动力和位移，达到作 动的目的；通过两侧的旋转螺栓来推动相应的楔形滑块前进或者后退，进而推动相应一边的活动导 轨上移或下移，来微调与固定导轨之间的间距和平行度；弹簧用于使活动导轨与两块楔形滑块之间 紧密连接，套筒负责限制两块楔形滑块的最大位移，使其不会与相连的螺栓脱离。结构中 U 型弹性 部件材料选择 65Mn 弹性钢，平台、导轨、锲型块为 40Cr 。压电堆选择哈尔滨工业大学博实公司的 国产PTBS200/5×5/6 压电堆，它的长、宽、高分别为 5mm、5mm 和 6mm 。加载电压200V 时，自由 5 10%μm ± 的位移。 状态下产生