原子力显微镜研究的论文纳米TiO2薄膜.pdfVIP

第五届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下) 原子力显微镜研究纳米Ti02薄膜 林纯+ (武汉大学东湖分校，湖北武汉430212) 摘要：利用AFM观察了三组Ti02薄膜样品的表面形貌．结合这些样品的透过率曲线， 发现表面颗粒小而且分布均匀的Ti02薄膜对近红外线有明显的阻挡趋势．而表面颗粒出现结 晶态的Ti02薄膜对短波长的光吸收强烈． 关键词：Ti02；原子力显微镜；透过率． 1 前言 太阳光控制膜能有效的减少由于阳光辐射到建筑物内部的能量迁移。镀有这种膜的玻 璃有利于：肖约能源。特别是在中高纬度地区，阳光控制膜更能有效的阻JL；t-部热量向室内 辐射，而让室内的热量n；l-部辐射。阳光控制膜的研究还处于初始阶段。 目前，低辐射膜或太阳光控制膜(Sun—E)都是多层 复合膜(如图1)。这样的膜制作成本高，工艺复杂．如果 M 0， 外层介质膜 单层膜能够达到理想的效果，那么无疑会给太阳控制膜的 A．8 功能膜 推广及普及带来巨大的好处。 M0， 第一层介质膜 在现代制造Sun—E膜的工艺中Ti02只是用来作保护 膜。但是，Ti02的表面活性很高，又具有自我清洁的功能。 玻璃 因此，我们试图探索Ti02膜作为太阳控制膜的可能性。 金属氧化物表面有着广泛的应用，如吸附、非匀相催 化剂等。由于氧化物表面存在不相同组成相，因此其表面 图I 低辐射膜系基本结构 光电橙黼 性质复杂且不均一。扫描力显微镜(SFM)能克 服非匀相困难，研究复杂的表面结构。而且在 纳米和原子尺度上获得的结果已经证实，SFM 是有效的表面分析工具。111121 近年来利用SFM研究Ti02表面结构大多是在 超高真空条件下对单晶Ti02表面的研究。对 粉末Ti02或纳米颗粒Ti02表面形貌结构的研 究较少。我们用原子力显微镜(AFM)研究 了Ti02薄膜的结构与Sun．E所要求的 性能的关系。我们所研究的薄膜是用磁控溅射 方法制备的。 AFM可以分成微悬臂形变探测系统、扫 描控制系统和数据处理系统等多个部分。如图 2所示，是AFM的机械结构。其中，微悬臂 是AFM仪器的关键部件。针尖一样品间的相互 图2AFM的机械结构 作用力是通过它的微小形变来检测的。针尖一样品间的相互作用力通常为10-8_10。12N． CORP．JAPAN)。仪器工作在轻敲模式， 我们使用的AFM型号：SPM-9500(SHIMADZU 作者简介：林纯，武汉大学东湖分校物理教研室教师，助教。 一341— 第五届套毋高等学杜曲理实验教学唧讨奎论文某(下) 空气环境。 2结果与分析 Ti鸥膜都是用磁控鼹射方法镀在玻璃基底上的．制备条P}如表2。 l_ 2‰I=06A，t=40mln P棚6Pa,P02=0 1029pm 硝 3Pa,I=06A，t=40mln Pm=06P^P02=0 IPa,I=0 P^r=06P4 6A，t--40min Pm=0