KBA-X射线显微镜空间分辨力模拟和Au网格实验测量.pdfVIP

第 23卷第 9期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．23，NO．9 2011年 9月 HIGH POW ER IASER AND PARTICLE BEAM S Sep．，2011 文章编号 ： i001—4322(2011 KBA—X射线显微镜空间分辨力模拟和 Au网格实验测量 董建军， 杨正华， 曹柱荣， 韦敏习， 詹夏宇， 刘慎业， 丁永坤 (中国工程物理研究院 激光聚变研究 中心 ，四川 绵阳 621900) 摘 要 ： 通过光线追踪模拟在 SG1I激光装置上利用第 9路激光入射到 Cu背光靶面产生 X射线，通过 Au网格背光照相 ，利用 KBA显微镜对此 网格成像 ，获得 了清晰的网格 图像 。通过对实验 网格数据 的分析发 现 ：在掠射角减小的方向，空间分辨力随视场 的变化 比掠射角增大的方 向变化小，与光线追踪模拟 比较 ，二者均 表明KBA 的视场是非对称的，从实验图像数据得出，视场的不对称相对于中心位置约为 3O 。 关键词 ： KBAX射线显微镜 ； 视场 ； 掠入射角； 光线追踪模拟 ； 空间分辨力 中图分类号 ： 0434．13 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP2415 KB显微镜是一类掠射反射成像系统，具有大视场、高空间分辨力和大收光立体角的特点，在高空间分辨 X射线成像方面具有广泛的应用口。]。KB显微镜的空间分辨力高，但视场小，在 KB的基础发展 了大视场的掠 射成像系统 ，典型的结有 AKB和 KBA[4]。AKB显微镜在 800 m 的视场范围内空间分辨力可 以到 3～4 m，KBA显微镜的视场在 2mm范围内空间分辨力可达到 10Fm左右。国内和国外 的研究工作主要集中在 KBA显微镜的空间分辨力测量和光学追踪模拟分析_6]。本文利用光线追踪方法模拟 了KBA的空间分辨情 况，利用 Au网格背光照相测量 了KBA 的空间分辨 ，并结合模拟结果对实验结果做了定量分析。 1 光线追踪模拟 KBA是 4块球面镜掠射反射显微镜系统 ，4块球面反 射镜的曲率半径均为 28790m，表面镀 100nm 的Ni，粗糙 度小于 0．5nm，第 1块镜子 的掠射角为 1．6。。图 l是 KBA显微镜结构示意 图，4块球面镜用 M ～M 表示 ，在 KBA成像系统的4块镜子中选第 l块镜子 M 作为参照， 将坐标系建立在第 1块镜子的中心B点，C，D，E分别表示 M ～M 的中心，各块镜子的相对位置以此坐标系来确定 。 Fig．1 IllustrationofKBA microscopestructure 各点的空间坐标如表 1所示。本文利用空间光线追迹方法 图1 KBA显微镜结构示意图 进行光线 的追踪模拟 [1。 表 1 KBA显微镜系统光路各点坐标值 Table1 CoordinatesofsixpointsinKBAmicroscopeopticalsystem A B C D E O O O O．7 O 26．9 KBA系统是一非轴对称非共轴的系统 ，其光轴 A_B—C-D—F_A是空间折线，很难利用现有的光学软件进行 精确的光路追踪模拟，因此我们 自行开发 了一套模拟 KBA光学系统 的几何光学程序 ，用 以计算 KBA的几何 光学问题。空间光线追踪的示意图如 图2所示 ，各 自的光轴分别为 z和Z ，以各 自的顶点 0 和 0z为坐标原 点建立坐标系XYZ和 XYZ，X和x 轴垂直于纸面未画在图上，坐标系统符合右手规则。规定 M 的坐标系 * 收稿