铌酸锶钡薄膜制备和椭偏光谱研究.pdfVIP

178 功 能 材 料 2004 年增刊 （35 ）卷 铌酸锶钡薄膜制备及椭偏光谱研究* ∗ 王 正，张曰理，郭扬铭，莫 党 （中山大学 光电材料与技术国家重点实验室，物理系, 广东 广州 510275 ） 摘 要：用溶胶-凝胶法成功地制备出了退火温度分 2 实 验 别为500、600、700 、800、900℃的铌酸锶钡 （SBN ） 薄膜；对制备出 SBN 薄膜分别进行了椭偏光谱测量 2.1 薄膜制备 研究，得到了不同退火SBN 薄膜椭偏光谱参数曲线； 实验中，我们使用乙二醇甲醚作为溶剂，分别把 并对测得的椭偏光谱进行了数值反演计算，得到了不 金属钡、锶加入过量的乙二醇甲醚中并使之反应，生 同退火温度的 SBN 薄膜的光学常数谱。结果发现 成(CH OC H O) Sr ，(CH OC H O) Ba ，把氯化铌加 3 2 4 2 3 2 4 2 SBN 薄膜的折射率和消光系数都随着退火温度的增 入过量的乙二醇甲醚中，使氯化铌与溶剂反应以后， 高而增大。 再加入KO H ，使得溶液中的氯离子与钾离子结合， 关键词：SBN 薄膜；溶胶-凝胶法；椭偏光谱 以沉淀的方式析出，过滤以后滤下物即为铌的醇盐， 中图分类号：O 848.1 文献标识码：A (CH OC H O) Nb ，(CH OC H O) K ，KCl 搅拌并加 3 2 4 5 3 2 4 2 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊-0178-03 热到乙二醇甲醚的沸点以上，以分馏出未反应的溶 1 引 言 剂，冷却以后再加入适量的乙二醇甲醚溶剂，就能获 得一定浓度的钡、锶、铌的醇盐。而将这三种醇盐按 铁电薄膜材料具有优良的铁电、压电、热释电、 照所需的计量比混合搅拌并以公共溶剂加以稀释，即 电光、声光及非线性光学特性，铁电薄膜材料在热释 完成了 SBN 混合溶胶的制备。在实验中使用甩胶 电探测器、铁电存储器、电光开关、微驱动器和光集 (Spin-Coating) 的方法将溶液均匀地涂于 Si(001)基片 成等方面的具有广泛的应用前景。钨青铜结构铌锶酸 上，转速控制在3000r/min ，然后将样品置于120℃的 钡（SBN ）类铁电、电光材料无90 °畴，具有大的铁 热台上加热烘干，450 ℃去胶，重复甩膜等过程，在 电、电光系数，在铁电、电光及非线性光学等方面有 Si （100 ）衬底上生长、制备出了较厚的SBN 非晶薄 着广阔的应用研究前景，是一类重要的铁电、电光材 膜；然后，将制备好 SBN 非晶薄膜切成小块，用快 料[1] 。但由于 SBN 单晶生长成本昂贵