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平面波动仪的检出原理与应用 刘亚南 郑中林 昊通 (中罾科学院西安光学精密机械研究所西安710068)(西北工业大学西安710072) ■叠：奉文根据平扳国索标准中规定的检验方法和检涮仪善．鲭出了平面馥动量的定 义，说舅了它的控出方法和检出原理．推导出了平面被葫搜指示值的■折表选式和平面技动 量与局部平面度的关系。本文●后还探讨了平i波动仪的设计要点和它的应用方{击。 关■一：平板平面被动量平面渡动仪捡出厦曩5啊 } 1概述 ＼ 平扳是用于检验或划线的平面计量器具。在机械制造业中获得了广泛的应用。其中检验和 划线平扳主要用来作为理想平面的模拟基准。研磨平板是超精密加工的工具，它以自身的形状精 度来保证t加工件的精度。因此对平板的主耍要求是工作面的平面度。 使用中的平板工作面的平面度一般由三部分组成：一是由于划痕、磁伤、荡斑和杂质等意外因 素造成的表面缺陷‘；另一种是由于刮翻技术，平板的喇性，支承方式，温度变化和磨损等宏观因 素造成的长周期误差毛；第三种是由于刮制技术，材质的均匀性．局部磨损等随机因素造成的短周 期误差毛。 合格平板不允许有影响平板准确度的表面缺陷，即￡分量的存在。因此我们把组成平板工作 面的两个主要部分，即长周期误差‘和短周期误差‘之和称为平板工作面的平面度F，即F=￡4- B。其中长周期误差￡称为整体平面度．短周期误差‘称为局都平面度。 目前国内外大都采用节距法来求检定平板工作面的平面度。这种检定方法的实质是根据平 扳工作面上有限点的检定效据来推求整块平板工作面的平面度F。实际上用这种方法所获得的 仅为被检平板工作面的长周期误差￡，因此它不能对平板工作面的全貌作出客观和详尽地描述。 作为一种补充，必须对检定点以外的空白区域再进行短周期误差，即局部平面度￡的检定，并把两 种检定方法得到的结果进行综合考虑，才能对被检平板工作面的平面度作出全面和正确地评价。 用于评定平板工作面局部平面度的技术指标比较多，而且各国标准中规定得也不尽相同。其 中我国平板标准中规定的平面波动量法是一种与局部平面度相关性较强．并配有专用仪器和易于 实麓的一项科学先进的技术指标。 本文根据我国平扳标准中规定的检验方法和检测仪器，给出了平面波动量的定义，说明了它 的检出方法和检出原理．推导出了平面波动仪指示值的解析表达式和平面波动量与局部平面度豹 关系。本文最后还探讨了平面波动仪的设计要点和它的应用方法。 由于平面波动量这一技术指标在实施过程中具有很多优点，因此本文除了分析这项技术指标 的理论和方法之外，还与目前广泛应用的接麓斑点法进行了比较．并探讨了它们之间的关系。本 文的目的旨在推广平面波动量及其检测仪器——平面波动仪的应用。 一l购一 一————趸鬣噩强凰『i■————■…一… 1 平面波动量的意义和方法 平板工作面的平面度F是指包容实际表面且距离为最小的两平行平面之间的区域。局部平 面度是指平板工作面上局部面积上的平面度。 直接检定局部平面度比较麻烦，而且在大多数情况下也并不十分必要，因此在各国标准中都 规定了具有相关性和可操作性的普代量技术指标。归纳起来主要有：接触斑点及接麓面积的比 率、平滑性、小节距、直线度、重复读数测量误差和曲事变化量等。 我国。铸铁平板”和“岩石平板”国家标准GB4986—4987—85中规定“对于不便采用对研法进 行检验接触斑点时，应检验平板工作面的平面波动量。”其值应不大于表1的规定。在标准的附录 中还鲭出平面波动量的检验方法。 囊1(MI) 糟崖等量 O∞ 00 O l 2 ， 早餐工怍面平面赦曲量 2 d 8 16 32 舯 将图1所示的平面波动仪置于平 b—j鲤 -l_．一!蛆_．一 板工作面上