Sol-Gel法制备Ba-%2c1-x-Sr-%2cx-TiO-%2c3-及其湿敏特性的研究.pdfVIP

第八届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 I—Ge i So 0。及其湿敏特性的 I法制备BahSr。T 研究4 杨广立1，张彤1，董艳2，徐宝琨 2长春市强书馆掇秘部．中国长春．130023,联系电话：0431-8582300 e-nmil：zhangtong@jlu．cdu．cn [摘要】利用Sol-Gel方法合成了Ba。…SrTiO。粉体材料，并通过XRD、TEM等测试手段对该材 料进行了分析和表征，确定了其结构为钙钛矿结构，粉体的平均粒径为32．8rim。利用该材料 制作传统的电阻型的湿度传感器，研究了其湿度特性。我们发现这种材料有湿敏特性，对此材 料进行碱金属掺杂后，发现当其掺杂8％的K2CO。时，高湿和低湿时的电阻相差了5个数量级， 表现出很好的湿敏特性。同时对这种掺杂情况下的器件湿滞特性、频率特性、电压特性和重复 性进行了研究，均得到了比较理想的结果。 sSro 【关键词]sol-gel法Bao5TiO。纳米湿敏特性碱金属掺杂 引言 近些年来，无论是在工业生产中还是家居生活中，湿度传感器在湿度测量和控制中都得到 了广泛的应用。湿度传感器的敏感材料多采用聚合物和陶瓷材料。陶瓷材料由于其较高的稳定 性、较宽的工作温度区域和较快的响应速度，显示了比聚合物更好的特性。陶瓷型传感器的工 作机理一般有两种：一种是材料表面对水分子的化学吸附效应，另一种是活性材料的表面微孔 的毛细管效应，这两种过程又有可能同时发生。应用于湿敏的陶瓷材料主要有Ti02、M92Al。0。、 hematire、ZnC20,和钙钛矿材料1。 于水是极性分子，水分子中带负电的氧离子能够很稳固和被带正电的Ba2+吸附。敏感材料所吸 附的第一层水分子是化学吸附，这是由于Ba2+与所吸附的水分子中的氧形成一个较强的静电 场。其反应如下 Ba2++H20———◆Ba”一伽+H+ (1) 第一层吸附水形成之后，接下来就属于物理吸附了。由于在化学吸附水分子层中的较强的电场， 物理吸附层的水分子是游离的，反应如下 2H出++H30++Olr (2) 当一个[hO+离子释放一个质子给相邻的水分子，而这个水分子得到这个质子的同时，也释放了 一个质子，这时就发生了电荷的传递。这就是所谓的Grotthuss连锁反应3。 BanSr，TiO，是具有钙铁矿结构的复合材料，其合成可以由不同的起始材料，用不同的方法 和工艺路线来制备。本文采用Sol-Gel方法4’”，合成了钛酸锶钡粉体材料，并通过xRD、TEM 和EDP等测试手段对该材料进行了分析和表征，利用该材料制作传统的电阻型的湿度传感器， 同时对其掺杂碱金属，研究了其湿度特性。 So L-G01法制备Ba。一，sr。Ti0；度其湿敏特性的研究 1．实验 1 1材料的制备 称取适量乙酸锶、乙酸钡溶于适量的冰醋酸中，加入适量的钛酸四丁酯和乙二醇甲醚，并 加入少量乙酰丙酮和去离子水，在温度为60。C长时间搅拌。搅拌后放在烘箱里烘干。300。C预 烧后，7006C退火。形成钛酸锶钡粉体。 1．2材料的表征 D8 日本HITACHI H-800EM透射电子显微镜(分辨率0．2nm左右)上获得的。 1．3元件的制作及测试 利用该材料制成传统的电阻型湿度传感器，并将其进行碱金属掺杂，选用的金属化合物为 Li 2C03、Na2C03 KzC03，掺杂的量取5％、8％、10％。并利用ZL5智能