大气压下低温等离子体产生与放电电源研究.pdfVIP

全国第三届特种电源学术年会论文集 大气压下低温等离子体产生与放电电源研究 刘勇，刘军，张仲超，何湘宁 (浙江大学电气工程学院， 浙江杭州，310027) 摘要：本文介绍了用于产生低温等离子体的一些方法和原理，以及由气体放电来产生低温等离子体的 实现条件，特点和在不同领域中的应用，其中详细叙述了大气压辉光放电的产生方法；最后对产生低温等离 子体的关键部分放电电源做出了分析说明。 关键词：大气压；低温等离子体；放电电源 引 言 由气体放科1l产生的低温等离子体在诸多领域里得到了广泛的应用[el，而且变得越来越重要。例如 在光学应用方面用于紫外线光源的产生和等离子体显示，在化学应用方面用于表面改性和等离子体化 学气相沉积，在环境保护方面用于静电除尘和废气处理等等。另外，低温等离子体在空气净化以及医 疗杀菌方面也有重要的应用f3】。 不同应用领域中的低温等离子体类型也不尽相同，需要有不同形式的气体放电。本文将就气体放 电产生低温等离子体的方法以及放电电源的系统特点做出分析说明。 1低温等离子体产生的方法 低温等离子体是一种处于非热平衡状态的等离子体，此时电子在与离子或中性粒子的碰撞过程中 几乎不损失能量，电子温度远远大于离子或中性粒子的温度，并且整体温度接近于室温，所以我们称 之为低温等离子体[34-s]。 目前通过气体放电产生低温等离子体的方法主要有辉光放电(Glow Barrier Discharge)、介质阻挡放电(Dielectric Pressure 下将分别给予说明。 1．1辉光放电 辉光放电属于低气压放电，工作压力一般都低于 10mbar。由于在低气压下很容易实现稳定的辉光放电，所以 对其理论研究和实际应用都有了很长的时间，也是人们了解 相对全面的一种放电形式。低气压玻璃管内两块相对金属板 电极间的直流辉光放电典型的空间分布如图l。 由图所示，沿阴极到阳极方向还可细分为明暗相问的8 图1直流辉光放电 个区域，即阿斯顿暗区、阴极辉光区、阴极暗区、负辉区、法拉第暗区、正柱区、阳极暗区和阳极辉 区，其中，前三个区域总称为阴极区。就发光强度而言，以负辉区最亮，阴极暗区最弱，正柱区则是 均匀一致的。 低气压辉光放电在灯光照明产品和半导体工业中的应用已经有了很长的历史，但因其受低气压的 限制，工业应用难于连续化生产且应用成本高昂，所以并没有广泛应用于工业制造中。 1．2电晕放电 电晕放电可以在大气压下工作[61，通常发生电晕的电极称为电晕极，电晕极的曲率半径远远小于 另一个接地电极。如果电晕极接正电压则称为正电晕，接负电压为负电晕。正电晕发生电晕的起始电 压较低，放电较为不稳定，而负电晕发生电晕的起始电压较高，放电较为稳定。按电源的性质不同， 面积累引起其局部电场强度的突降，从而限制了微放电仅能持续Ⅳ硝n Ⅳ／Ⅶ，翩、 几纳秒的时间。另外，放电通道内阴极高电场强度区域的出现， 心 夕 心么＼≮多y 典型的电流密度值以及非平衡等离子体的条件都证实了这些微放．．。■．：…。■．i…．了■ “‘“～”3”’”’土”…“…” 电为瞬时高气压辉光放电。 黧巢鬻蒸蒸菱一垡 40 全国第三届特种电源学术年会论文集 间距最大不能超过3．5mm，过小的气隙间距限制了它在工业中的应用范围。 图3电阻阻挡放电 图4金属网电极结构 3)水电极的方法【16I 电压为60Hz，上电极为金属电极，下电极为水电极。水电极的放电结构如图5所示，水电极的存 ‘’在能够抑制因电极过热而导致向细丝放电的转变。 4)多孔阴极的方法Il，J · Akishev等用多孔阴极的方法来产生大气压空气中的直流辉光放电，它主要是由多个辅助放电来诱 导主辉光放电的发生。多孔阴极的放电结构如图6所示，它的主要缺点是放电结构过于复杂。 水冷U邕U ■■—_ 哆_ 图5水电极的放电结构