微悬臂梁电极的制备和其腐蚀电化学行为阻抗谱研究.pdfVIP

2008全国缓蚀防锈学术讨论与技术交流大会论文集 微悬臂梁电极的制备及其腐蚀电化学行为阻抗谱研究 刘昱4”．郭兴蓬。”，张强小 (华中科技大学a．化学系；b．材料化学与服役失效湖北省重点实验室，湖北武汉430074) [摘要] X 采用飞秒激光器制备了尺寸为50斗m×60la,rn100斗m的304奥氏体不锈钢微悬臂梁电极， 中，微电极的双电层电容较小，由于微电极的尺寸效应和表面氧化膜的存在，微电极表现出更小的膜电阻与转 移电阻，对应更小的极化电阻和更大的腐蚀电流密度；微电极在0．9％NaCl溶液中的阴极过程是整个反应的 控制步骤，整个阴极过程是电化学放电和传质过程共同作用的结果。 [关键词]腐蚀电化学；微悬臂梁电极；飞秒激光；电化学阻抗谱 [中图分类号]TGl74．3[文献标识码】A 0前言 不锈钢薄膜微悬臂梁试件在含Cl一介质中的腐蚀电化 学行为及与宏电极的差异性。 微系统器件的尺度被认为是微米级的，其腐蚀行 为往往不同于大尺度试样…。IvarsGutmanis在20021试验 年美国陆军腐蚀高级研讨会上指出，微系统中存在着 1．1试验材料 污染物腐蚀、缝隙腐蚀，点蚀和疲劳腐蚀等各种腐蚀形 态【21，但是相关的研究工作在国内报告不多，国外亦少 1．1．1微试样加工 有发表。因此，研究微尺寸材料的腐蚀特性及长时间 以304SS作为主要研究对象，化学成分和力学性 工作的稳定性，可以为微系统的设计提供依据。 能参数见表l。 表1材料的成分(质量分数) ％ 对于宏观大体积试样，腐蚀环境对材料的破坏被 元素 c si Cr Ni No N S bin P Fe 认为往往是发生在材料表面微小缺陷、不同相以及非 17．97 0．220．046 1．040．025Balance 304SS0．0370．26 8．55 0．003 金属夹杂物等处的局部腐蚀破坏。然而，这些宏观大 体积试样的腐蚀疲劳理论不一定能直接用来研究微系 50 统在腐蚀介质中的腐蚀行为。微系统的腐蚀行为有别 06’，再用粒度W0．5的研磨膏打磨，作为加工的钢片。 于宏观大器件的腐蚀行为∞q1，也不同于宏系统中的 用蒸馏水冲洗，酒精脱脂，冷风吹干，置人干燥器内备 微区腐蚀。微尺度下微系统材料的化学势增加，传质 过程加快，极限扩散电流增加，溶液的欧姆降减小∞J1， 钢片加工成50¨Jn×60la．rn×100斗m的悬臂梁，加工 除此之外微力学、微热力学、微摩擦学、微结构和表面 后的试样用酸清洗表面加工溅射物，试样结构见图1。 物理效应及微区化学过程等都对微系统的腐蚀产生显 著的影响一’9J。因此，研究微系统器件的腐蚀电化学机 理及与宏系统的差异性，不仅对微系统的发展和应用 具有重要的意义，也是腐蚀科学自身发展的重大要求。 本工作选择在微系统中具有优良加工性能的304 不锈钢薄膜材料，利用飞秒激光加工技术加工304不 { ·J1』“1『- 锈钢微尺度悬臂梁试样。利用电化学阻抗谱研究304 -一～一一，址■二=二…。=二=- 图1 激光加工后的试样表面形貌 [收稿13期]2008—04—27 从图1可以看到，由于激光烧蚀形成的边缘不