MEMS气敏传感器.pdfVIP

维普资讯 摘 要 ： 随着 MEMS技术 的飞速发展 ．各种 MEMS器件和 系 可用来制造某些微结构和实现 MEMS器件 的封装 。在 MEMS 统相继 问世 ．MEMS气敏传感器是其 中之一 。本文重 点介 绍 了 气敏传感 器制作 中，目前还很少用到后两种技术 。 ?种 MEMS气敏传 感 器。 MEMS技术发展十分快 ．自 1988年直径 只有 头发丝大小 关键词 ： MEMS技术 ；牺牲层技术 ；MEMS气敏传感器 的 MEMS马达 问世 以来 ．人们利用 MEMS技术可 以实现微 型 中图分类号 ： TP212．2 文献标识码 ：A 化 、集成化 和智能化 的特性 ．陆续 开发 出体积小 、质量轻、功耗 文章编号 ：1001-973l(2003)02—0133一02 低、速度快和可靠性高的各种 MEMS器件和系统 ，如 MEMS加 速度计 MDXL05。美 国宇航公司开发的MEMS卫星 ，最小的只 1 引 言 有 280g16]。在现有 的 MEMS传 感器 中．MEMS电子鼻是使用 近二 、三十年来 ．检测各种气体成分和浓度 的气敏传感器受 MEMS技术较多较全面 的一个 ，它 的 3个子 系统 (气敏传感器 到人们普遍 的关 注 ，先后开发 出可燃性气体 、有毒有 害气体 、温 阵列 、信号处理子系统和模式识别子系统)都利用 MEMS技术 室效应气体 、污染环境气体 、内燃机汽车尾气、工业废气和鱼、肉 制造 ．并集成在一块或几块硅芯片上[7J。MEMS技术很适合 制 等食品发 出的气体 的气敏传感器 ．并被广泛应用于家居安全报 造气敏传感器及其阵列 ．国内许多气敏传感器 ．如氧化物半导体 警 、环境保护 、石油化工 、食 品工业和 医疗卫生等领域和部 门 ‘“。 气敏传感器 的输 出与工作温度有密切 的关系 ．如果知道传感器 但 由于大多数气敏传感器用陶瓷工艺制造 ．体积大、功耗高 、产 的工作温度 ，那么传感器的输 出信号就可予知 ．并且可采取电补 品性能分散性大 以及难 以与仪器 匹配等缺点 ，从而限制 了其发 偿措施使其更符合要求 。另外 ，适 当选择和控制氧化物半导体 展 。市场迫切要求体积小 、质量轻、功耗低 、性能一致性好 、集成 气敏传感器 的工作温度 ，可改善传感器 的灵敏度 、选择性和响应 化、智能化和能大批量生产 的各种气敏传感器 。幸好 ，近十多年 时间等性 能。因此要求将气敏元件 、加热器和测 温元件集成在 发展起来 的 MEMS技术满足 了气敏传感器市场的这种需求 。 一 块芯片上 ．以便对工作温度实现精确控制 。 要特别指 出的是 ．要得到性能优 良的 MEMS产 品．热处理 2 满足气敏传感器市场需求 的 MEMS技术 工序 的安排要遵守一个重要原则 ：温度越高的热处理工序 ．越要 “MEMS”是 “Micro—electro-mechanicalsystems”的缩写 。译 安排在前面 ，以防止高温工序使 已完成 的元件和结构性能劣化 。 为 “微机 电 系 统,,C23．也 有 人 称 其 为 “微 电子 机 械 系统 ”[…。 因为高温会使半导体杂质分布发生 明显变 化 ．金属膜性能变坏 MEMS的内容是不断增加 的．刚开始只包含集成传 感器 、微执 甚至熔化 。 行器和微系统 。现在人们把微机械 、微结构、智能传感器 、灵巧 3 MEMS气敏传感器 传感器等也归于 MEMS范畴[“。 MEMS技术是指 “制造微机 电系统的技术 ”．它实际上是微 为 了充分继承和发扬集成 电路 (IC