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电子探针 微电子束分析技术及其发展历史 电子探针分析的物理基础 电子探针仪器结构 样品制备 电子探针定性分析 电子探针定量分析 电子探针分析选用标样 电子探针线分析 电子探针面分析与相分析 张展适教授课件 1 微电子束分析技术及其发展史 微电子束分析技术及其发展史 概述 电子探针微区分析技术的发展史 扫描电子显微镜简介 电子探针分析特点 电子探针的分析功能 张展适教授课件 2 电子束微区分析技术 电子束微区分析技术 指的是以细聚焦电子束为激发源，进行 物质组分和物体表面形态分析的物理测 试手段。代表性仪器有电子探针和电子 显微镜 电子探针是电子探针X射线显微分析仪 Electron Probe X-ray Micro-Analyzer ， EPMA 的简称,是运用电子所形成的探测 针 细电子束 作为X射线的激发源来进行 显微X射线分析的设备 张展适教授课件 3 电子束微区分析技术 电子束微区分析技术 电子显微镜 Electron Microscope 包括扫描电 子显微镜（Scanning Electron Microscope， SEM 和透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope ，TEM 。 张展适教授课件 4 电子探针和电子显微镜 电子探针和电子显微镜 两种仪器都具有组分和形态分析的功能， 只不过是它们的性能各有所侧重。 电子探针主要侧重于元素的定性、定量 分析方面的物质组分的研究 电子显微镜则侧重于物体表面形态的分 析和研究 张展适教授课件 5 电子探针经历了四个发展阶段 电子探针经历了四个发展阶段 第一阶段（1949-1958 ，为实验室研制阶段 第二阶段（1958-1973 ，为电子探针性能初步定 型前商品化阶段 第三阶段（1973-1985 ，为电子探针性能综合发 展阶段 第四阶段（1985-今 ，为电子探针分析电子计算 机化阶段： 2000年开始进入电子探针网络化阶 段 张展适教授课件 6 电子探针人物谱（1） 1895年11月8 日德 国物理学家 Wilhelm Conrad R?ntgen威廉·伦琴 1845-1923 发现X 射线 获得1901年第一个 Nobel物理学奖 张展适教授课件 7 电子探针人物谱（2 ） Carles G. Barkla 1877- 1944 ,在1909年 发现电子轰击纯 元素可以产生特 征X射线 获得1917年Nobel 奖 张展适教授课件 8 电子探针人物谱（3 ） Max Von Laue 1879-1960 在1912年发现了X 射线在晶体中的 衍射现象 德国法兰克福大 学的劳厄 获得1914年Nobel 奖 张展适教授课件 9 电子探针人物谱（4 ） Bragg父子在 1913年获得了 第一个X射线光 谱 Bragg父子 获得1915年Nobel 奖 张展适教授课件 10 电子探针人物谱（5 ） Henry G.J. Moseley 得出了元素的原子 序数与X射线能量之 间的关系 Moseley定 律 张展适教授课件 11 电子探针人物谱（6 ） Georg Charles von Hevesy 1885-1966 第一次提出了 利用X射线荧 光光谱发展电 子探针的概念 张展适教授课件 12 电子探针人物谱（7 ） Hiller在1947年提出电子束可以产生 X射线 “ 电子探针之父”——Raymond Castaing 1921-1999 系统提出了电 子探针分析的理论及应用 1958年第一台商用电子探针在Paris 诞生 张展适教授课件 13 扫描电子显微镜简介 扫描电子显微镜简介 scanning electron microscope scanning electron microscope 扫描电子显微镜的出现要比电子探针早得 多，可以说正因为有了扫描电镜，才有 了电子探针。1935年，Knoll首次提出扫 描电镜的基本原理。第一台扫描电镜的 试制品出现于1938年，但第一台商品化 扫描电镜是英国剑桥仪器公司生产的“立 体扫描 stereoscan 电子显微镜” ，分辨率 为50nm ，出现于1965年。 张展适教授课件 14 扫描电子显微镜的发展 扫描电子显微镜的发展 1973年以来，扫描电镜普遍与电子探 针组合在一起，分辨率也不断提高 同时扫描电镜除了具有较高的图像功 能外，还普遍配置了X射线能谱仪用 于成分分析 扫描电镜还可以附有其它的配件，以 进行特殊用途的分析，如低温扫描电 镜和低压扫描电镜 张展适教授课件 15 电子探针分析特点 电子探针分析特点 微区、微量 分辨率仅为2 μm左右,电子探针分析的 检测极限为100ppm 简便、快速:电子