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能量色散X射线荧光光谱分析技术介绍.pdf

能量色散X射线荧光光谱 分析技术 本教程的主要内容 一、基础理论 二、仪器的结构与分析条件的选择 三、定量分析方法和基体效应校正 四、Spectra EDX 软件介绍 建立定量校准曲线的方法 无标样分析方法 五、仪器的日常维护 电磁辐射 能量范围 [keV] 波长范围 电磁辐射类型 10-7 cm to km 无线电波 10-3 μm to cm 微波 10-3 μm to mm 红外 0.0017 - 0.0033 380 to 750 nm 可见光 0.0033 - 0.1 10 to 380 nm 紫外 0.11 - 100 0.01 to 11.3 nm X 射线 10 - 5000 0.0002 to 0.12 nm γ射线 10Å = 1nm = 10-6mm = 10-9m XRF 分析的能量范围(波长范围): E = 0.11 - 60 keV λ = 11.3 - 0.02 nm 元素范围从铍(Be)到铀(U) 描述X射线的2个基本参数 Name 符号 [单位] 描述 -9 波长 λ [nm] 1 nm = 10 m 1 Å = 10-10 m 能量 E [keV] 1 keV = kinetic energy aquired by an electron losing one volt of potential 光子数 光子数:counts 强度 I [kcps] 每秒光子数 (cps = counts per sec.) 1.24 1.24 [E keV] [ λ]nm [ λ]nm [E keV] X射线的产生 电子跃迁(特征谱线辐射) 电子减速(韧致辐射,or 连续谱) 电子改变方向(同步加速器) 电子

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