能陷理论与体波晶体谐振器寄生抑制.pdfVIP

维普资讯 第26卷第 1期 压 电 与 声 光 Vo1．26No．1 2004年2月 PIEZOELECTRICS＆ACOUSTOOPTICS Feb．2004 文章编号：1004—2474(2004)O1—0039—03 能陷理论与体波晶体谐振器寄生抑制 黄 显 核 (电子科技大学 自动化学院，成都 610054) 摘 要：从高频声体波晶体振子厚度切变机械振动的波动方程入手。分析了寄生现象产生的主要原因，介绍了 能陷理论及其在抑制寄生上的应用。最后指出了实际中减小晶体谐振器寄生的主要措施 关键词：晶体谐振器；寄生；能陷理论 中图分类号：TN65 文献标识码：A StudyonTrappedEnergyTheoryandSpuriousSuppressof BAW QuzrtzCrystalResonator HUANG Xian-he (SchoolofAutomationEngineering，UniversityofElectronicScienceTechnologyofChina·Chengdu610054·China) Abstract：Basis |actorsdeterminingspuriousphenomenaofhighfrequencyBAW cdrystalresonatorarearia- lyzedbased0nwaveequationofthicknessshearmechanicalvibration．Trappedenergytheoryanditsapplicationon spurioussuppressisintroduced．M ostlysteptodecreasespuriousofcrystalresonatorarepointedoutintheend． Keywords：crystalresonator；spurious；trappedenergytheory 动方程出发，求解三维矩形片和圆形片振动系统的 1 引言 波动方程，分析了寄生模式出现的原因，介绍了能陷 声体波晶体器件 由于其优 良的稳频、选频性能 理论及其在抑制寄生上的应用以及实际中减小寄生 而在 电子技术领域得到广泛的应用，其发展方 向之 的一些措施 。 一 就是高频化，主要应用的是双旋 y切 (yx L 。／ 2 石英晶体振子机械振动 ．)石英振子的厚度切变模式(A 切为 。一0的特 例)，它具有宽温范围频率变化小，加工方便，模式之 2．1 三维矩形片振动 间耦合小，频谱纯度高等优点。但随着频率的升高， 此时波动方程为 由于厚度切变频率与厚度的反 比关系，相应的片子 = ( + + ：：) (1) 厚度越来越薄 ，带来 了加工上的困难 ，使用泛音模 式中 是机械位移；是波速 ， 垂直于 y切 的 式，因此，带来了振动模式的复杂性和寄生抑制 问 波传播方 向。 题 。 利用分离变量法 ，设 晶体谐振器要完全没有寄生是极为困难的，工 (，Y，，)一[ ()][y()][z()][ ()] 程上一般要求寄生数量要少，寄生幅度要低，寄生离