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半导体材料加工设备的新秀_多线切割机.pdf
电子工业专用设备
新设备与新技术
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半导体材料加工设备的新秀
!!! 多线切割机
王琮
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中国电子科技集团公司第四十五研究所 北京东燕郊 -) -;) -
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摘 要 对多线切割机各个部分的作用 原理及整机性能作了简要介绍
关键词 多线切割机 导线轮 载荷传感器 工作台 定向偏转系统 智能控制 砂浆
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中国分类号 文献标识码 文章编号
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