微细电火花加工技术的进展.pdfVIP

微细电火花加工技术的进展 赵万生 王振龙 哈尔滨工业大学机电学院 哈尔滨 150001 摘要 本文系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势 比较分析了常用微细加工 与微细电火花加工方法的特点及应用 论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用 介 绍了微细电火花加工技术在微三维结构制作中的应用 作为一种实用的微细加工技术 微细电火花加工 技术已经成为MEMS 技术的有力补充 并有望成为微三维结构制作的主流技术之一 关键词 微细加工 微细电火花加工 微型装置 0 前言 20 世纪90 年代后 微细电火花加工技术已经开始进入实用化阶段 日本的松下技研 三菱电 机 Sodick 瑞士的 Agie Charmilles 等国际著名的电加工机床生产厂家已相继推出了商品化的微 细电火花加工机床[1] 目前 在国际互联网上 相应的微细电火花加工网站( 如 www. edmmicromachining. com) 已经开通 相信该技术必将在微型零部件制作方面发挥越来越重要的作用 为能更合理地应用此项技术并最大限度地发挥其加工潜能 有必要对目前国际上微细电火花加工技 术的研究现状及其发展趋势进行探讨与借鉴 从中得出在我国开展此方面研究的切入点 1 微细加工与微细电火花加工 产品的微型化是现代生产所追求的目标之一 比如 便携式盒式磁带录音机 其机械部分及电 路所占的空间约为40 年前的 1%2 为达到此目的 不仅其电器装置 而且象诸如开关 马达甚至 螺钉等机械零件都必须实现微型化 而微细加工是实现产品零部件微型化的最基本技术 它已成为 涉及机械 电子 化学 材料等多种学科的现代高技术3-7 目前 在微细加工领域中 将同步辐射 深度 X 射线刻蚀 电铸成型及塑铸等技术有机结合的 LIGA(Lithographic, Galvanogormung, Abformung)技术 由于能够制造出高宽比大于500 厚度近 1000m 结构侧壁平行度偏差在亚微米 3 级的三维立体结构而倍受世人瞩目 然而要实现LIGA 工艺就必须使用昂贵的同步辐射源 同时 4,5 从原理上讲 LIGA 技术很难用于斜面 自由曲面的微细三维加工 随着激光技术的发展 激光束分辨率的不断提高 传统的微电子光刻技术也得到了长足的发展 利用液态的光敏性树脂在紫外线照射下凝固成型特性 无须掩膜的光造型法微电子光刻技术是目前 微细加工领域中又一研究热点之一 相对于LIGA 技术 光造型法的制造装备费用大为降低 仅为 4 它的十分之一左右 但目前此方法的加工对象仍只限于光敏树脂 其对金属等材料的适应性问题 仍在探讨中 事实上 组成微型机械的零部件的材料 形状等都极为复杂 针对不同的加工对象 应当尽可 能地采用最为经济 实用的加工手段 世纪之交 在密切关注微电子机械技术 如光刻 沉积 LIGA 等 的同时 我们注意到这样一个事实 一些欧美 日本等发达国家的学者开始重新审视用传统制 造方法实现微细加工的可能性[1,8-12] 这是因为目前条件下 光刻 沉积等微电子机械技术一般擅长 于进行平面图形或深度不是很大的直壁零件的微细加工[1,10] 而未来社会对微细加工技术的需求很 大程度上体现在三维微细结构的成功制作上 LIGA 技术在微三维结构制作上所取得的成就令世人 瞩目 但其昂贵的设备投资也同样令人却步 从世界范围的微细加工技术的发展应用而言 欧美等 国倾向于硅微结构的制作 即微电子机械领域 而日本则更注重用传统的加工方法和特种加工方法 从宏观尺寸零件的加工向微观尺度的零件加工逼近 如微小齿轮 微小模具 微细轴 孔等 [2,11] 众所周知 实现精密 微细加工的一个重要条件是加工单位尽可能小 而在电火花加工过程中 其加工单位 即每次放电的蚀除量 只取决于单个放电脉冲的能量 随着现代电力电子技术的发展 电火花加工的加工精度与表面质量得到了极大的提高 加工单位也日趋变小 目前 应