原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
ZnO 157
ZnO*
∗
65009 1
ZnO ZnO
ZnOXHall CVD PLD -
(MOCVD) MBE
ZnOc
ZnO 3.029 10-4 ·cm
ZnO XRD
ZnO
TN304.2+ 1;O484.1 A ZnO
1001-0157-03
ZnO
1
2
ZnO
3.37eV ZnO
ZnO60meV
[1] GaNSiC 1200 4h ZnO
1997 ZnO Al O 5% ZnO
2 3
1997 ZnO
ZnO X
[2~6] 1
1
Table 1 Thin film growth conditions and physical properties
( ) (min) (wt%) 2 /() (nm) (nm)
1# 20 30 0 34.340 0.2609 44
2# 200 45 0 34.680 0.2585 105.2
3# 300 60 0 34.400 0.2605 131
4# 400 75 0 34.300 0.26 12 60.2
13# 20 45 5 34.400 0.2605 120.7
14# 200 30 5 34.380 0.2606 120
15# 300 75 5 34.260 0.26 15 122.8
1
文档评论（0）