利用掺杂与梯度复合技术对生物材料进行TiO2(Ta5%2b)%2fTiN薄膜表面改性的研究.pdfVIP

利用掺杂及梯度复合技术对生物材料进行 Ti02(Ta5+)／TiN薄膜表面改性的研究 陈俊英 冷永祥 扬萍 孙鸿 王进 万国江 黄楠 (西南交通大学材料工程系，四川成都，61003】) 摘要 本文采用磁控溅射技术同热氧化相结合的方法合成T嘲1f·)，T．N复合薄膜，并对薄 膜的硬度、摩擦磨损等力学特性以及血小板牯附等血液相容性进行了研究．研究结果表明．掺杂使 血液相容性提高，梯度复合使力学特性改善 因而薄膜具有良好的力学耐久性和血液相容性． 关键词 Tio“T一+)，r，N薄膜力学特性 血渍相容性 中图分类号TGl56．TB3 for SⅡrh钾M0di融蛀锄靳Ⅲdy佃Ti02(Ta5+嘲HIm Bioma毒eriab usingIl叩ib童and dupJeI 1khnoIog，r (D印arlmant Ti(删．m㈣h of加咖p蛐蛐咖洲恤岫b枷删of她劬％酬姗whlg 协d0曲19w油h k舢∞qmⅧ6蛔肼ch删捌抑螂 blood鲫叩|蚺 一、前 言 体的生物薄膜材科要求：聂有良好的力学耐久性和 铁及其台金由于良好的综合力学性能以及优 生物相容性，薄膜的力学特性(包括硬度、耐磨 于不锈钢等的生物相容性和耐蚀性等优点。成为 性、应力和附着力等)是其质量的反映并直接髟 最有发展前景的医用材料。钍系材料已在整形外 响薄膜的耐久使用性．薄膜昀血藏相容性反映了 科(各种关节和周定器攘)，口腔与额面外科(义 薄膜材辩植入肌体后与血液的相互作用情况，也 齿．种植体等)，颅脑外科．心血管系统(心脏 直接影响薄膜的应用． 瓣膜起博血密封盒)等领域获得应用Ⅲ．但由于钛 本文利用磁是碾射同热氧化相结台的方法制 系材科品种太少咀及性能尚特进一步提高而不能 备n啦盯矿yI矾薄膜，并进行力学耐久性和血液 满足牯床使用的要求。因此各研究者都在致力于 相容性研究．结果表明该薄膜材料具有良好综合挂 研制与开发具有更好生物相容性和缘合力学性能 能．砷瑚Ta帅薄膜材料可望成为与血液接触 以及加工性能的新型医用钛系材料口1”】． 的植入器械表面抗凝处理的涂层选择之一． 薄膜技术和薄膜材料已成为当代真空技术和 二、实验方法 材料科学中最活跃的研究领域．不同的使用环境 2．I薄膜材辩制备 对薄腆有不同的甚至是特殊的性能要隶．用于肌 在md—蚰型直流射频磁控最射工作台上．采 126 用氩离子轰击Ti-Ta镶嵌复台靶并通入M的方法合 三、结果与讨论 成含Ta的TIN薄膜(即m)i掌膜)，所用村底 土l显徽硬度赭定结果 材料为工业纯Ti基片和硅片。制各薄膜的工艺参数 薄膜硬度是指膜层自身的硬度，它不应包含村 如下：本底真空为2×lO。Pa．工作压力为O．6I，a． 底材料的硬度。通常惯用的压痕显徽硬度测量是表 溅射时间为10m．m．基板温度为200℃，溅射电流为 征表面镀层力学性能的一种可靠的、方便的物理方 法。但是当压痕深度(D)与膜层厚度(t)的比率D／t 0．4A