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2鸯，霉5全国博士生学术论坛
利用离子交换技术制备跑道形波导谐振腔滤波器的研究
韩秀友1一，庞拂飞1一，蔡海文1，瞿荣辉1，方祖捷1
(1中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800)
(2中国科学院研究生院，北京100039)
相移，分析得到波导材料的热光系数约为1．49x10‘5／℃。该滤波器町以用于滤波、传感等领域，也町与其它波导结构相结
合实现新的功能。
关键词：集成光学，波导谐振腔，离子交换，热光效应
中图分类号：TN265
ofRacetrack ResonatorFilter
Study Waveguide
Fabricated
by
Ion-exchangeTechnique
RAN
Xiuyoul”，PANGFufeil”，CAIHaiwenl，QURonghuil，FANGZujiel
Institute andFine Chinese of 201800
(1．Shanghai Mechanics，The
ofOptics AcademySciences，Shan曲ai
2．GraduateSchoolofthe 100039)
ChineseAcademyofSciences，Beijing
Abstract：Aracetrack resonatorfilterwas of
fabricatedonK9 inmixedmeltsalt and
waveguide glassbyion-exchange AgN03
characteristicsofthefilterwas
KN03．The measuredbroadbandASEsourceand free
by opticalspectrumanalyzer,whose
O．1 was
spectrum 76nm,contrastratio bandwidthis戳=0．1 ratioand
range(FSR)was Cr=4dB，3dB 3nm，coupling
loss
propagation shiRinduced effectwas
were萨O．9．a=3．2dB／cm,respectively．The investigated．The
phase bythermo—optical
shiR 2万was
of realizedwithin16 the coefficientofthe
phase degreestemperature waveguide
change．andthermo—optical
materialwasabout
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