微尺度换热器的实验研究及性能评价.pdfVIP

中国工程热物理学会 983143 传热传质学学术会议 微尺度换热器的实验研究及性能评价+ 姜培学范明红任泽霈 (清华大学热能工程系，北京100084) 摘要本文对微槽式微型换热器和多孔式微型换热器的传热和流动性能进行了实验研究，并对几种微 型换热器的性能进行了综合评价．结果表明：多孔式微型换热器的传热性能要优于微槽式微型换热器， 但压力损失比较大(在本文的实验范围内，其摄大单位体积传热系数为863 K)，相应的工质 MW／(m1 质量流量为0．067kg／s，冷水侧压降为4．66bar)；从传热和阻力损失两个方面综合评价，深槽结构微 型换热器优于其他两种微型换热器。 一、引 言 近年来，随着微机电系统(MEMS)的迅速发展，许多微细加工方法得到了发展 和应用，并相继出现了诸如微型马达、微型传感器、微机械陀螺、微型泵和微型阀等微 型器件，为人类开辟了一个崭新的世界。微型换热器及微尺度散热器作为MEMS家族中 的～员，在微电子，航空航天、医疗、化学生物工程、材料科学、高温超导体的冷却、 薄膜沉积中的热控制、强激光镜的冷却，以及其他一些对换热设备的尺寸和重量有特殊 要求的场合中有着非常重要的应用前景。此外，高新技术的迅猛发展对器件和设备的热 控技术提出了越来越高的要求，而微小结构是强化换热的有力手段。正是在这种背景下， 新型高效的微型换热器的研究与开发日渐成为传热学研究领域的一个热门课题。 与普通换热器相比，微型换热器的主要特点在于其单位体积内的换热面积很大，相 应地，其单位体积传热系数高达几十到几百MW／(m’K)，比普通换热器要高1—2个数 量级。微槽式微型换热器是目前微型换热器中最常见的一种，其流动槽道一般是在很薄 的硅片、金属或其他材料的薄片上加工而成，这些薄片可以单独使用，形成平板式换热 器，又称“微槽散热器”；也可以多片焊在一起，形成顺流、逆流或交叉流换热器。早在 行了实验研究。结果表明，在温差不超过70℃时，这种微槽散热器的单位面积散热量最 高可达1300W／cm2。此后，很多人对微槽散热器的传热性能及传热机理进行了实验研究 “。14 J。用于两种流体间进行热交换的微槽式微型换热器则首先由Swift、 Migliori和 Wheatleyl5]于J985年研制出来。交叉流微槽式微型换热器的结构如图】所示。 至今为止，微槽散热器多采用深槽结构(深度与宽度比大于1)”…。微槽式微型换热 器则多采用扁槽结构(深度与宽度I：gd,于1)”‘1…。这～方面与实际加工的限制及结构强度 要求有关；另一方面，微槽式微型换热器所采用的扁槽结构顺应了人们对换热表面紧凑 性的高要求。然而，减小微槽当量直径增加传热系数的同时，微槽内的压力损失也在急剧 增加，而且压力损失的增加速率远远高于传热系数的增加速率。在设计微槽式微型换热 器时，考虑强化传热的同时，有时还应兼顾到压降的合理性。解决这～矛盾的方法之一 就是采用深槽结构。一方面，深槽结构的当量水力直径相对较大，流动损失相对较小： 热性能明显优于扁槽。目前关于这种深槽结构的微槽式微型换热器的研究寥寥无几，因 ‘本研究得到国家自然科学基金(的资助 Ⅷ一204 此，有必要开展这方面的研究工作。 多年以来，人们就发现多孔结构能大大强化换热ll“。多孔换热器是指利用细小金属 颖粒烧结或涂敷丁金属薄板或管子表面或者填充于管间而制成的一种换热器，其结构非 常紧凑。根据不同的州途，多孔换热器可做成任意型式和大小的结构。目前，管式多孔 换热器的研究相对多些lI…。多孔换热器也可以制成板式，用烧结、钎焊、熔焊、或涂料 粘合等方法将金属颗粒制成多孔结构并将其连接在实体上，多孔介质之间的细小间隙即 构成板间流体的通道，用于两种或荫种以上介质之间的换热。板式多孔式微型换热器的 典型结构如图2所示””。