新型纳米导轨.pdfVIP

新型纳米导轨 赵美蓉 曲兴华 陆伯印(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室300072) 妻霭谧碉邂嘏。嘲镄一 摘要本文研制了一种新型纳米导轨。该导轨为V形滑动摩擦导凯，其设计符合动力学原理，结构简单，精度极高，导轨系统 自身的谐振频率很高。此外，运动副之间的孽攘磨损小，导轨运动曼活平稳，驱动·个自由度．滑架只产生一个自由度的运动。 将该导轨应用于我们开发的纳米激光干涉仪中，取得r良好的效果。本文对导轨的结构、选材和性能进行了深入研究和阐述。 关键词导轨纳米纳米测量滑动导轨 NanometricGuide New—style Sliding Zhao Qu Lu MeirongXinghua Bo：rin ofPrecision and (StateKeyLaboratory MeasuringTechnologyInstruments，Tia卿nUniversity，3000嘞 in work．Theofthe AbstractA nanometric hasbeend ourresearch flew—style slidingguide e】veloped type guid{is the is olathe withfive the of …V，and specimencarriagekinematicallysupportedguide pads．Itobeystheoryny- ofthe is andthenatural ofitsare namics．Thestructureslidewaysimple．theaccuracy frequency ultra—high．面he the is andflexible．Itstoournanometre1aserinterferometer．andtheeffeetis motionof slide stable applied very and ofthe are inthis excellent．Thestructure selection presentedpap#r． design，material propertiesslidingguide GuideNanometre Keywords NanometrologySlidingguide 的端部是半径为ZOOmm的球面，既可保持息好的小面 1引 言 积接触，减少摩擦，受力稳定，保证高精度，又可确保导 轨表面的应力小于导轨材料的屈服极限，故定位精确 对于纳米计量来说，只有纳米标尺和纳米探头还 可靠。导轨的几何参数如下： 不够，还需要有高精度的纳米导轨。从导轨的发展历史 1．v形导轨的角度。v形角a90。，导向精度高， 看，对于超精密导轨来说，还是以摩擦导轨最为常用， 但接触点正压力大，摩擦力加大，并使磨损加剧；a 它不仅精密且谐振频率高，加工精度易于保证，适用于 90。．导向性较差。故选取n一90。。 高精度测量。