用双管显微镜测量表面粗糙度评定参数的微机处理程序.pdfVIP

用双管显微镜测量表面粗糙度 评定参数的微机处理程序 四川大学测试技术与控制工程系(610065) 蒋大文 谢驰 王继平 摘要：本文介绍了用双管显微镜测量轮廓线采样点坐标值数的方法。 同时，提出了’计算表面粗糙度六个评定参数的微机处理程序。 关键词：表面粗糙度。 双管显微镜 评定参数、7。 采样．≤ 1．前畜 能实现表面粗糙度多参数浏量的光电计量仪器相继问世【l】、C23、(3]，但由于其价格较 贵，一般斟●：部门和工厂难以购置。目前．我国大多数工厂计理室只拥有测量单参敷的表面轮廓 仪或粗糙度检查仪，如何利用现有设备，彩’大其使用功能，以满足表面租糙度国家标准规定的常 警 用六个评定参数的要求，这是一个既有经济效益，又有社会效益面急待解决的问题。本文以只用 于测量Rz值的双管显微镜为例，具体说明了解决这个阔题的基本途径，即铡出取样长度内被测 轮廓线上各采样点的直角坐标值，作为原始数据输入计算机，通过按要求设计的徽处理程序。计 算出所需的评定参数值。 2．原始数据的获得 设：N为一个取样长度z(撇)内的采样点数．采样闻隔△工=寺(，，lm)；各采样点的二 维直角坐标为工I，¨x22ez。…，础，…，工蚋。 通过调整，使目镜千分尺十字线的水平线与光带方向、工作台锹向千分尺移动方向z彼此 一致后。弄将目镜千分尺十字线转45，让十字线交点与光带轮廓起点瞄准，如图l所示。然后， 按拟定的采样间隔Ax转动工作台纵向千分尺．使工件沿工方向依次移动。同时转动目镜千分尺 蚊轮，使十字线交点沿垂直子光带方向移动，并依次瞄准光带轮廓线上各采样点．由目镜千分尺 凄得相应子不同Xi的各采样点的坐标值拂(格)。此时．目镜千分尺鼓轮的分度值e’比按锈镜放 o 大倍数确定的分度值s扩大了住倍，即￡’=压￡(即t 3．数学模型和编程要点 (1)轮廓最小二乘中线和轮廓偏距 471 轮廓最小二乘中线是评定表面租糙度的基准线、它是利用采样数据组按最小二乘原理求得的 一条回归线，如图2所示．其回归方程为： ；=口。+6≯……………………………………………·‘① 式中bo一-量(冀一；)(五一=)／耋(工，一=)2 口o：；一‘，=；妻五／N，；：耋MIN ——’之 zf事筝穆≯抽 f疆，， (蠼工， 轮廓线上任一采样点i的轮廓偏距Y7i为： Y’i。冀一ao一6≯i………………………………………………………………………② 编程时，将采样数组z(N)，，(N)输入计算机．根据公式①和②计算得到中线方程及轮廓偏 距巴 (2)轮廓算术平均偏差R 在取样长度￡内轮廓偏距绝对值的算术平均值，即R=了1f6l了7il如 对于Ⅳ个离散；，、…d¨、i，可近似计算如下： 1、， 鼢≈专善Iy’il…………………………………………………………………………③ 编程时，利用累加语句将各采样点偏距l l代入③式即得值。 Y’i (3)徽观不平度十点高度j5i)， 在取样长度内5个最大的轮廓峰高％的平均值和5个最大的轮廓谷深％的平均值之和。 即 Rz=号(宝泓+未妇)………………………………………………④ 由图3可知，轮廓线与中线的交点分别为幻l，砌…，．砧，…‰。对于离散受采样点而 言，其交点的z坐标确定方法如下：当轮廓线上两相邻点的轮廓偏距异号，即了’i·Y’(i+t)0 时．其闻必然存在着交点，该交点的z坐标值可按下式计算： z击=型粤卫!哗………………………………………………