9.3-11μm二氧化碳激光波长测试方法研究.pdfVIP

9．3—11 IJLm二氧化碳激光波长测试方法研究 崔瑛12吴鸯1-2于航1·2袁海林3 (1上海市激光技术研究所，上海200233；z上海市激光束精细加工重点实验室， 上海200233；3上海计量测试技术研究院，上海201203) 摘要 随着C02激光在工业加工、通信、测量以及医疗科研等众多领域越来越广泛的应 用，方便快捷地测量C02激光器波长也正成为一种迫切的需求。本文研究的C02激光波长 测量装置，包括光学系统、电子系统和扫描系统，可方便、快速、准确测量C02激光波长。 关键词C02激光；波长：碲镉汞探测器 0 引言 随着C02激光在工业加工、通信、测量以及医疗科研等众多领域越来越广泛的应用， 方便快捷地测量C02激光器波长也正成为一种迫切的需求。C02激光器的主要工作物质由 C02、N2和He三种气体组成，其中C02是产生激光辐射的气体，N2和He为辅助性气体。 激光跃迁发生在C02分子电子基态的两个振动一转动能级之间。当C02激光器工作时，由于 N2分子受电子碰撞的几率很大，因此被有效地激发到第一激发态，其能量与C02分子上能 级的能量十分靠近，能量很快从N2分子第一激发态共振转移到C02激光上能级上，使其粒 子数增加。当C02分子上能级与下能级形成粒子数反转时，通过受激辐射产生跃迁。但除 振动外，C02分子还有转动，故每个振动能级可以分成一系列转动能级，使得C02激光器的 输出波长在9．3．11“m的范围都有可能出现。 1 9．3-11 tunC02激光波长测试装置 测量装置主要包括光学系统、电子系统和扫描系统，如图1所示。光学系统包括聚焦球 面反射镜、物镜、入射狭缝、第一准直球面反射镜、平面衍射光栅、第二准直球面反射镜、 出射狭缝和碲镉汞探测器。电子系统主要包括前置放大器、计算机、A／D变换器和D／A变 换器。扫描系统由步进电机和正弦机构组成，正弦机构通过丝杠与平面衍射光栅相连接。由 C02激光光源发出的光束进入入射狭缝，入射狭缝位于聚焦球面反射镜的焦面上，通过入射 狭缝射入的光束经第一准直球面反射镜、聚焦球面反射镜反射成平行光束投向由步进电机通 过正弦机构控制转动的平面衍射光栅上，得到波长与平面衍射光栅转动角度成正弦关系的衍 射光束，该衍射光束经物镜、第二准直球面反射镜和出射狭缝到达碲镉汞探测器，通过出射 狭缝的出射光信号经碲镉汞探测器变换为电信号，电信号经前置放大器放大经A／D变换器 将模拟量转换数字量，由计算机处理测得C02激光波长。 碲镉汞探测器的光谱响应在8～14 ttm，其峰值波长为10．6Hm，与C02激光器的 激光波长相匹配。入射狭缝、出射狭缝均为直狭缝，宽度范围0-2mm连续可调。 3 IO l反射镜2物镜3入射狭缝4准直球面反射镜5平面衍射光栅6准直球面反射镜 7出射狭缝8碲镉汞探测器9前置放大器10计算机11A／D变换器12D／A变换器 13步进电机14正弦机构 图1 C02激光波长测试装置结构图 2 C02激光波长测量原理 由C02激光光源发出的光束进入位于聚焦球面反射镜焦面上的入射狭缝，通过入射狭 缝射入的光束经第一准直球面反射镜、聚焦球面反射镜反射成平行光束投向由步进电机通过 正弦机构控制转动的平面衍射光栅上，得到波长与平面衍射光栅转动角度成正弦关系的衍射 光束。根据光学原理，通过光栅方程可以给出出射波长和光栅角度之间的关系，如图2所示。 光栅方程为 2d ． 。 五=——cos缈SINr／ ，” (1) 其中，，7为光栅的旋转