Si晶体中空位运动的分子动力学研究.pdfVIP

第 卷 第 期 今 扁 学 玻 年 月 一 页 决 一 ’ 晶体 中空位运动 的分子动力学研究 乔永红 王 绍 青 中国科学院金属研 究所沈阳材料科学 国家 联合 实验室 , 沈 阳 摘 共 用分子动力学方法模拟 了 晶体 中的空位运动 采用 一 七 三体经验势描述原子 间的相互作用 在追踪空 , 采用两 法对不 温 的空 进行 了 通过对空位微观 运动 的轨迹 析 , 得到 了空 激活能, 位的跳动时 种方 同 度下 位跳动 计算 热 的分 计算 位 井对 方法 中关于空位跳跃的强制定义给 出了统计意义上 的解释 计算分析表 明, 空位的绝大 多数跳动都是经历过渡态完 成的 关性词 晶体, 空位迁移能, 分子动力学, 扩散 中圈法分类号 文献标识码 文章编号 一 一 一 , “ 。夕 夕 仰 环竹 ‘ , , , 一 , , , 。几 。 夕 。 忍 忍 、 环俏 云 夕 不 不 葱 回 ‘ 二即 介 。 叼 。 代 , , 葱 二 。 夕 。。 , 叫 叩 二 了 , 一 一 , 一认飞 , 勿 , , 卧 , 随 子工业 猛 展, 器 积 , 伴 着 电 的迅 发 电子 件的体 越来越 本研究采用经典分子动力学的方法 追踪热动力学平 , , 系 空 散 迹 以 人 ‘ 提 出的确定 致 器 些 原子 以 缺 对 导 电 衡 统中 位扩 轨 等 小 使 件 中一 杂质 及 自身的 陷 其 性 的影响不可忽视, 因此有必要对于掺杂物及 固有缺陷的扩 空位的方法 , 并在将新产生缺陷视为微扰 的假设下 , 用平 过程全面细致 了 确 述 通 , 方 地 了 人 义 散 地 解并进行准 定量的描 常 这 均 法统计 解释 方法 中 为定 的参数 问 究 巨 , 且 目 得 类的 题的实验研 耗资 大 并 前所获 的实验结 之 很 , 取 一 的定 论 于 问 模型及方法 果 间偏差 大 无法 得 致 量结 对 这类 题计算机模拟 已成为更加有效的方法 它不仅可 以预测半 本研究采用三体 团簇势 一 七 一 势 导体器件掺杂后 的性质, 而且也可 以对影响半导体性能的 函数 描述 原子 间的相互作用 、 本征缺陷 如 自间隙原子 空位 的热力学性质进行研究 , , , , ‘ ‘ 、 , 】 一 ‘ , 通过第一原理 卜 和基于经典的原子 间相互作用势的原 艺功 艺 叻 二 一 , 子尺度模拟 【 川 人们对微量元素和 固有缺陷扩散 问题 葱 介 的认识更加深入 , 然而, 固有点缺陷的一些基本性质 尚不 , 式 中 等式右侧第一项为二体相互作用 第二项为三体作 清楚 , 用力项 是针对共价键结合的原子 间具有方 向性 的相互作 用力 的特点而 引入 的 一 势对 的熔点给 出了准确 国家重点研究基础 发展规划资助项 目 的预测 , 是研究 这种应用广泛 的半导体材料普通采用 收到初稿 日期 一 一 , 收到修改稿 日期 一 的势函数 , , , , 本 选取 超 边长 晶 的 作者简介 乔永红 女 年生 硕士生 计算 中 的 单胞 为 格常数 倍 金 属 学 报 卷 , 含 原子和 空 即 的超单胞 它包 个 个 幅度较大的原子振动 边 温过程 用正 拟 出, 温过程 晶 位 计算 中采用三维周期性 界条件 升 中采 分子动力学模 指 在升 中含有缺陷的 体 , 到 程 空 中的粒子坐标均偏离理想超单胞的粒子坐标, 则系综 观察从 升温过 中 位 认 的运动 为偏离理想晶体的某一格点且小于 原子半径 的 等在进行 晶界扩散研究时提 出一种确定空 原子就属于这个格点 , 人 定义 基 位运动的方法 本文称之为 方法 他们将含有 方法 中 为 的参数在本计算 中 本适 , 于空 留 间 的限 在两 缺 陷的晶体在达到热力学平衡后 的粒子坐标与完整 的理 用 但是对 位停 时 严格 制 个最小周期 内 , , 坐 比 , 没 的约束 在高温下不再成立 本文作者观察到 在 想晶 原子 较 并认 理想晶体 那个 有 之对 体 标 为 中 与 , 些 置空 留 于 子 应的粒子坐标就是空位的位置 这种方法给 出了每个分子 时 在某 位 位停 时间就小 个分 动力 , , 学 于 而 加 动力学时间步对应的原子运动信息 并且能够通过坐标对 时间步 这是 由 平均 晶格振动频率随温度升高 增 究 对 晶 空 运 拟 发现 , 空 比反映出空位运动的具体方式 所致 本研 在 体的 位 动模 时 位 , 两 反 现 空位跳动的过程 中会发生许多微观现象 如双空位的 在 个格点间 复跳跃 的 象持续的时间大都在 个时