3英寸YBCO%2fCeO-%2c2-%2fAl-%2c2-O-%2c3-双面超导外延薄膜的制备探究.pdfVIP

熊 杰 等：3 英寸YBCO/CeO /Al O 双面超导外延薄膜的制备研究 907 2 2 3 3 英寸YBCO/CeO /Al O 双面超导外延薄膜的制备研究 2 2 3 1 熊 杰，陶伯万，谢廷明，陈家俊，刘兴钊，张 鹰，李言荣 （电子科技大学微电子与固体电子学院，四川 成都 610054 ） 摘 要：采用自制的大面积四靶溅射设备，并结合基 介电常数约为26[9] ，高温下化学稳定性好、机械强度 片的调速双轴旋转，成功研制出3 英寸双面CeO2 薄 高、结构致密，是很好的缓冲材料。在整个过程中， 膜及YBa Cu O －δ (YBCO)薄膜。通过对所制备薄膜 CeO 扮演了3个角色：缓冲层、隔离层、生长层。缓冲 2 3 7 2 的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试，得到 层作用主要指CeO 薄膜的介入增强了YBCO 和Al O 2 2 3 的CeO2 薄膜与YBCO 薄膜具有良好的c 轴外延取向， 之间的晶格适配度，拉近了两者在热膨胀系数等物理 CeO 薄膜的（002 ）峰与YBCO 薄膜的（005 ）峰FWHM 性质方面的差异；在Al O 上沉积YBCO是很容易发生 2 2 3 均小于1°。薄膜厚度均匀性良好，厚度起伏在±5% 扩散，特别是在高温下扩散更严重而且还会发生化学 以内。YBCO 薄膜T 分布在88.5～90K，△T ＜1K， 反应[10]，利用CeO 在高温下的稳定性和它结构致密的 c C 2 J 6 2 特点可以有效地防止扩散和互相反应的问题，起到隔 1 ×10 A/cm ，R (10GHz，77K)两面分别为0.53m Ω c s 和0.56m Ω，能较好地满足微波器件研制中的需要。 离层的作用；对于YBCO而言，CeO2才是它直接的生 关键词：YBCO 薄膜；CeO2 缓冲层；调速双轴旋转； 长层。与蓝宝石a=0.475nm, c=1.299nm, c/a=2.73的六方 微波器件 结构而言，在a轴方向上适配度为6 ％，b轴适配度为 中图分类号：0484.1 ；TM26+2 文献标识码：A 12 ％[10] ，CeO 晶格常数为0.5411nm 的立方结构在和 2 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 YBCO匹配上有着绝对性的优势，适配度仅为0.9 ％。 1 引 言 2 实 验 高温超导薄膜例如 YBa Cu O －δ(YBCO) 的微波